石英玻璃精密加工
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對高精度光學零件的加工方法主要有瀝青環(huán)拋法、雙面拋光法、離子束修形以及磁流變拋光等拋光工藝。
超薄光學零件在加工中的主要難題在于各種變形,包括膠結變形、熱變形、應力變形等。采用瀝青環(huán)拋法一般配合“增厚”、“光膠”等手段加工超薄零件,
可以有效地減小膠結變形和熱變形的影響,但是沒有解決應力變形的問題;雙面拋光法需要使用保持架帶動零件與研磨盤進行相對運動,保持架厚度必須小于零件厚度,當厚度小于一定程度時,
一方面保持架會因強度不足被撕裂,另一方面零件極易竄出保持架導致擠碎;離子束修形是目前精度最高的加工方法,可以實現(xiàn)原子級表面材料去除,但是存在加工效率低,加工成本昂貴等缺點,不適用批量化生產。
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