《炬豐科技-半導體工藝》--技術資料合集22
一:《氮化鎵單晶的液相生長》
二:《氮化鎵單晶生長研究進展》
三:《GaN三維結構生長與器件應用》
四:《金剛石氮化鎵技術的未來展望》
五:《兩步生長法制備氮化鎵納米線》
六:《氮化鎵外延用硅襯底問題研究》
七:《氮化鎵單晶襯底的研究進展》
八:《GaN器件在軍事領域中的應用》
九:《半絕緣碳化硅單晶襯底的研究進展》
十:《固態(tài)照明中SiC襯底材料產(chǎn)業(yè)化關鍵問題的研究》
十一:《金剛石散熱襯底在GaN基功率器件中的應用進展》
十二:《MOCVD生長Si襯底上HT-AlN緩沖層低生長壓力對GaN薄膜的影響》
十三:《HVPE法制備碳摻雜半絕緣氮化鎵晶圓片》
十四:《HVPE生長GaN氣相反應路徑的研究》
十五:《低溫緩沖層對金剛石襯底上GaN的沉積作用》
十六:《GaN體單晶的氨熱生長及應力調(diào)控》
十七:《氮化鎵晶片的化學機械拋光工藝》
十八:《氮化鎵表面損傷處理及氨熱生長研究》
十九:《氮化鎵GaN的特性及其應用現(xiàn)狀與發(fā)展》
二十:《氮化鎵單晶襯底制備技術發(fā)展與展望》
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