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一篇文章讓你清楚了解白光干涉儀

2022-04-28 17:29 作者:立儀科技  | 我要投稿

光譜共焦傳感器,白光干涉儀,激光位移傳感器,膜厚儀是目前3D領(lǐng)域中,精度最高的測量儀器之一,前面立儀科技小編已經(jīng)為大家介紹了光譜共焦位移傳感器,激光位移傳感器,接下來本文就帶大家一起來了解了解白光干涉儀


白光干涉儀工作原理

白光干涉儀是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精細(xì)表面輪廓測量儀器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光,分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光,并由成像系統(tǒng)在CCD相機(jī)感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉,在CCD相機(jī)感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差,根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現(xiàn)的位置解析出被測樣品的相對高度。

它具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),測量單個精細(xì)器件的過程用時2分鐘以內(nèi),確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。

白光干涉儀的應(yīng)用領(lǐng)域

一、超精細(xì)粗糙度測量


玻璃鏡片 0.05nm 粗糙度測量
玻璃鏡片 0.05nm 粗糙度測量



二、臺階高度


掩模版臺階高度測量
掩模版臺階高度測量
掩模版臺階高度測量

三、形貌觀察&測量


膜形貌測量
膜形貌測量


四、不同條件下實(shí)驗(yàn)形貌比對&測量


化工材料不同濃度液滴后形貌分析
化工材料不同濃度液滴后形貌分析

聽完立儀科技小編的介紹,相信大家對白光干涉儀的原理以及應(yīng)用領(lǐng)域有了個大概的了解,立儀科技一家專業(yè)生產(chǎn)光譜共焦位移傳感器,激光位移傳感器,膜厚儀,白光干涉儀的公司,從2014年成立至今,勵志成為國產(chǎn)高精度測量的技術(shù)引領(lǐng)者。


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