? ? ? ?XPS測(cè)試即X射線光電子能譜技術(shù)，這是一種利用X射線來(lái)對(duì)樣品進(jìn)行分析的在電子材料與元器件顯微分析中的一種先進(jìn)分析技術(shù)。它是對(duì)樣品表面，微小區(qū)域和深度測(cè)試的方法，用于判斷分子結(jié)構(gòu)和原子價(jià)態(tài)的信息。本文中鑠思百小編就對(duì)XPS測(cè)試一些常見(jiàn)問(wèn)題進(jìn)行分析和解答。

Q：所測(cè)窄譜元素，含量比為啥跟預(yù)期不符？

1，樣品表面被污染

2，樣品分布不均勻

3，該元素不分布在樣品表面，即不在XPS所測(cè)微區(qū)范圍內(nèi)

4，XPS是半定量分析，和元素的實(shí)際含量會(huì)有出入

備注：XPS是一種典型的表面分析手段，用于定性及半定量分析，測(cè)試得到的僅是樣品表面幾百甚至幾十um大小，幾個(gè)nm深度的樣品信息，不代表樣品整體性質(zhì)

Q：樣品中，某元素窄譜曲線不光滑，峰刺較多，或沒(méi)有測(cè)出該元素？

1，元素含量比較低

2，樣品分布不均勻，所測(cè)試的光斑范圍內(nèi)，該元素含量較少

3，該元素不分布在樣品表面，即不在XPS所測(cè)微區(qū)范圍內(nèi)

Q：分峰后，某元素結(jié)合能位置不對(duì)？

1，確認(rèn)下數(shù)據(jù)是否校正（我們給的數(shù)據(jù)，一般是沒(méi)有校正的數(shù)據(jù)）

2，分析下化學(xué)環(huán)境對(duì)該元素峰本身造成的影響，某些化學(xué)環(huán)境會(huì)導(dǎo)致峰有正常的偏移

3，確認(rèn)下分峰是否正確

Q：元素的結(jié)合能測(cè)試范圍和之前的不同，無(wú)法對(duì)比？

如果該元素的峰是完整的，可以自行截取至相同結(jié)合能范圍進(jìn)行對(duì)比，如果不影響分析也可以不進(jìn)行截取

Q：分峰后，對(duì)應(yīng)價(jià)態(tài)的峰沒(méi)有？

1，需要分峰后進(jìn)行分析，并需確認(rèn)分峰是否正確

2，全譜的能量很高，如果測(cè)不出來(lái)，可能是污染碳很高，或者測(cè)試深度范圍內(nèi)的含量太少（整體該價(jià)態(tài)比較高，但是表面很少），一般是后者原因居多

總結(jié)

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