半導體無塵車間是指通過高效過濾、低溫、恒溫控制、高壓等環(huán)境控制技術(shù)，將半導體制造設(shè)備和產(chǎn)品放置在一個極低污染的空氣環(huán)境中的車間。 它的主要作用是防止空氣中的微小顆粒、氣體、濕度等污染物和微生物污染，以確保半導體材料、工藝和產(chǎn)品的質(zhì)量。

半導體無塵車間的空氣清潔度標準一般是采用ISO14644-1標準，清潔度級別從Class1到Class9，Class1表示最清潔的環(huán)境，Class9表示最污染的環(huán)境。 根據(jù)不同的要求，可以采用不同的清潔度級別。

除了空氣清潔度標準外，半導體無塵車間還有一些特殊的安全要求。 例如，空氣的濕度必須保持在一定的范圍，控制在30-60%RH之間； 溫度必須保持在一定的范圍，控制在18-25度之間； 每小時流量要求必須大于20m/h。 此外，半導體無塵車間還要求噪聲小，燈光滿足要求，防靜電措施到位，防塵措施要達到最低要求等。

總而言之，半導體無塵車間的標準主要是空氣清潔度標準、濕度、溫度、流量等，以及噪聲、燈光、防靜電、防塵措施等。 以上標準都是半導體無塵車間必須達到的標準，以確保半導體制造設(shè)備和產(chǎn)品的清潔度、可靠性和質(zhì)量。