在做掃描電子顯微鏡（SEM）測試時，科學指南針檢測平臺工作人員在與很多同學溝通中了解到，好多同學對SEM測試成像原理不太了解，針對此，科學指南針檢測平臺團隊組織相關(guān)同事對網(wǎng)上海量知識進行整理，希望可以幫助到科研圈的伙伴們；

?

掃描電鏡成像是利用細聚焦高能電子束在樣件表面激發(fā)各種物理信號，如二次電子、背散射電子等，通過相應(yīng)的檢測器來檢測這些信號，信號的強度與樣品表面形貌有一定的對應(yīng)關(guān)系，因此，可將其轉(zhuǎn)換為視頻信號來調(diào)制顯像管的亮度得到樣品表面形貌的圖像。

?

SEM工作圖

?

入射電子與樣品中原子的價電子發(fā)生非彈性散射作用而損失的那部分能量（30～50eV）激發(fā)核外電子脫離原子，能量大于材料逸出功的價電子從樣品表面逸出成為真空中的自由電子，此即二次電子。

?

電子發(fā)射圖

?

二次電子探測圖

二次電子試樣表面狀態(tài)非常敏感，能有效顯示試樣表面的微觀形貌，分辨率可達5～10nm。

?

二次電子掃描成像

?

入射電子達到離核很近的地方被反射，沒有能量損失；既包括與原子核作用而形成的彈性背散射電子，又包括與樣品核外電子作用而形成的非彈性背散射電子。

?

背散射電子探測圖

?

用背反射信號進行形貌分析時，其分辨率遠比二次電子低。可根據(jù)背散射電子像的亮暗程度，判別出相應(yīng)區(qū)域的原子序數(shù)的相對大小，由此可對金屬及其合金的顯微組織進行成分分析。

?

EBSD成像過程

?

以上僅為科學指南針檢測平臺對網(wǎng)上資料的收集整合，故此分享給大家，希望可以幫助大家對測試更了解，如有測試需求，可以和科學指南針聯(lián)系，我們會給與您最準確的數(shù)據(jù)和最好的服務(wù)體驗，惟?？蒲泄ぷ髡呖梢愿p松的工作。

?

免責聲明：部分文章整合自網(wǎng)絡(luò)，因內(nèi)容龐雜無法聯(lián)系到全部作者，如有侵權(quán)，請聯(lián)系刪除，我們會在第一時間予以答復，萬分感謝。

關(guān)于掃描電鏡，今天就分享到這里。如果內(nèi)容對你有幫助，希望大家不要吝嗇點個贊哦，我們會繼續(xù)給大家輸出更多優(yōu)質(zhì)內(nèi)容~

最后，祝大家科研順利！如果你想了解更多關(guān)于掃描電鏡的知識，可以掃碼關(guān)注下哦~