真空系統(tǒng)是指由真空泵、真空計和各種零件通過管道以適當?shù)姆绞竭B接而成的能夠滿足一定真空值要求的裝置。真空系統(tǒng)的基本要求是什么？

1.抽取設備或工作室獲得所需的極限真空和工作真空值。

空度是指設備在沒有泄漏和排氣的情況下達到的真空值，工作真空值是指設備在真空處理過程中可以維持的真空值。在真空處理過程中，經(jīng)常會釋放出大量的氣體，當工作真空值明顯低于極限真空度時。極限真空度和工作真空值各有其重要性，它們從不同的側面影響設備的質(zhì)量。例如，在使用氧化物負極器件的排氣真空系統(tǒng)中，電10-2極除氣和負極分解產(chǎn)生大量的空氣。如果工作真空值差，可能會導致電極氧化和負極激活不良。但當設備最終密封時，基本上沒有泄漏，設備中的真空值取決于排氣真空系統(tǒng)的極限真空度。

2.獲得工作真空值所需的時間

這取決于真空系統(tǒng)的速度。提高速度可以縮短此時間。大型工作室顯然需要大速度。有時工作室不大，但由于嚴重泄漏，真空系統(tǒng)也需要大速度，否則大量泄漏會大大降低真空值，使系統(tǒng)無法工作。

3.在被抽裝置或工作室內(nèi)有合適的殘氣成分

僅僅提高和保證極限真空度和工作真空值是不夠的，對殘留氣體成分也有一定的要求。例如，為了在一年的使用壽命內(nèi)降低靈敏度，設備中殘留氣體的含氧量不應高于10-2Pa耐高壓真空開關管不得含氮氧化物分子等。如果真空系統(tǒng)中沒有其他氣源，主要取決于泵的特性。

4.真空系統(tǒng)還必須結構簡單、性能可靠、操作維護方便、價格便宜等

這些要求需要從泵的選擇、管道尺寸的確定和布局、裝配過程等方面來充分考慮。這些基本要求通常是相互關聯(lián)的。例如，由于真空系統(tǒng)總是有微泄漏現(xiàn)象，所以選擇大泵比小泵可以獲得更好的工作真空值，但大泵價格昂貴，耗水，耗電，因此存在合理選擇的問題。儀器和小型真空系統(tǒng)應選擇微型真空泵，成本低、效率高、噪音小，部分客戶不適合選擇流量大的工業(yè)真空泵。

5.自動化要求

隨著計算機技術的發(fā)展，用戶對真空系統(tǒng)自動化的要求不斷提高。對于真空系統(tǒng)，自動控制主要是調(diào)整真空泵流量和真空值。真空值通常由調(diào)節(jié)真空泵流量、安裝節(jié)流閥和減壓閥控制。節(jié)流方法能量損失大，產(chǎn)生額外噪聲，最好直接調(diào)整真空泵轉(zhuǎn)速。工業(yè)真空泵的調(diào)速方法有很多，主要分為兩種：第一種是電機轉(zhuǎn)速不變，通過附加設備改變真空泵的轉(zhuǎn)速，如變速箱調(diào)速，第二種是直接改變電機的轉(zhuǎn)速，如硅系列調(diào)速、變頻調(diào)速等。目前，工業(yè)真空泵常用的方法是變頻調(diào)速，節(jié)能效果好，可實現(xiàn)無級調(diào)速、調(diào)速比大、調(diào)速準確、速度穩(wěn)定。

過去，小型真空系統(tǒng)的微型真空泵通常采用降壓調(diào)速。降壓運行的額外優(yōu)點是有利于提高泵和電機的使用壽命。如果泵負荷較大，降壓后容易導致電機無法啟動，導致電機溫度升高，造成安全隱患。

對于密封性能好的真空系統(tǒng)，如果沒有定期放氣，內(nèi)部沒有蒸汽源，可以選擇極限真空度較好的小型泵。但是，如果系統(tǒng)漏氣較多，則必須采用提高泵速度的方法，以確保其工作真空值。此時，應使用較大的泵速度，并盡可能增加管道的流導，即選擇短而粗的管道。

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