氦質(zhì)譜檢漏儀是物理檢測(cè)技術(shù)中檢測(cè)漏損的重要設(shè)備，它利用氦流調(diào)節(jié)系統(tǒng)檢測(cè)各種介質(zhì)中的漏損，這種檢測(cè)技術(shù)既可以檢測(cè)空氣、水、汽油等等物質(zhì)，也可以檢測(cè)高真空度的高精度真空系統(tǒng)。氦質(zhì)譜檢漏儀具有精度高、測(cè)量靈敏度高、快速檢測(cè)等特點(diǎn)，可以檢測(cè)出微小漏損介質(zhì)，從而為機(jī)電設(shè)備的檢測(cè)提供了可靠保障。

氦質(zhì)譜檢漏儀有多種型號(hào)，其根據(jù)介質(zhì)不同可分為氦質(zhì)譜檢漏儀和氦檢漏儀兩大類。氦質(zhì)譜檢漏儀采取氦氣經(jīng)過(guò)壓力衰減閥進(jìn)入加熱器，在不同溫度梯度下可檢測(cè)介質(zhì)中的漏損，檢測(cè)精度為10-2 Pa*a。氦檢漏儀采用氦氣由高壁壘泵抽送到待測(cè)介質(zhì)中，抽吸功率控制在10-3Pa左右，可快速檢測(cè)出漏損介質(zhì)。

氦質(zhì)譜檢漏儀使用簡(jiǎn)單，儀器操作簡(jiǎn)單，可以快速檢測(cè)漏損情況，進(jìn)行微小漏損的檢測(cè)。檢測(cè)過(guò)程中不受介質(zhì)環(huán)境條件影響，設(shè)備有自動(dòng)升溫和自動(dòng)調(diào)壓的功能，減少了操作的繁瑣性，并可以有效保護(hù)儀器的使用壽命，而且可以記錄檢測(cè)數(shù)據(jù)，便于分析和追蹤漏損問(wèn)題。

此外，氦質(zhì)譜檢漏儀還有采用真空泵抽氦的氣流檢漏儀，可快速檢測(cè)出壓力漏損，準(zhǔn)確識(shí)別漏損介質(zhì)，從而有效解決檢測(cè)難度大，檢測(cè)效率低等問(wèn)題。

氦質(zhì)譜檢漏儀具有精度高，檢測(cè)靈敏度高，檢測(cè)速度快，操作簡(jiǎn)單，保護(hù)儀器，自動(dòng)調(diào)壓，記錄檢測(cè)數(shù)據(jù)等優(yōu)點(diǎn)，是一種高效實(shí)用的檢測(cè)漏損介質(zhì)的儀器。

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