TEM測(cè)試原理
????????透射電鏡作為電鏡中比較主要的一種類型,今天就跟著鑠思百小編來了解一下透射電鏡的基本原理吧!
TEM簡介
????????透射電子顯微鏡(英語:Transmission electron microscope,縮寫TEM),簡稱透射電鏡,是把經(jīng)加速和聚集的電子束投射到非常薄的樣品上,電子與樣品中的原子碰撞而改變方向,從而產(chǎn)生立體角散射。散射角的大小與樣品的密度、厚度相關(guān),因此可以形成明暗不同的影像。通常,透射電子顯微鏡的分辨率為0.1~0.2nm,放大倍數(shù)為幾萬~百萬倍,用于觀察超微結(jié)構(gòu),即小于0.2微米、光學(xué)顯微鏡下無法看清的結(jié)構(gòu),又稱“亞顯微結(jié)構(gòu)”。
工作原理
????????透射電鏡的總體工作原理是:由電子槍發(fā)射出來的電子束,在真空通道中沿著鏡體光軸穿越聚光鏡,通過聚光鏡將之會(huì)聚成一束尖細(xì)、明亮而又均勻的光斑,照射在樣品室內(nèi)的樣品上;透過樣品后的電子束攜帶有樣品內(nèi)部的結(jié)構(gòu)信息,樣品內(nèi)致密處透過的電子量少,稀疏處透過的電子量多;經(jīng)過物鏡的會(huì)聚調(diào)焦和初級(jí)放大后,電子束進(jìn)入下級(jí)的中間透鏡和第1、第2投影鏡進(jìn)行綜合放大成像,最終被放大了的電子影像投射在觀察室內(nèi)的熒光屏板上;熒光屏將電子影像轉(zhuǎn)化為可見光影像以供使用者觀察。本節(jié)將分別對(duì)各系統(tǒng)中的主要結(jié)構(gòu)和原理予以介紹。
????????成像原理與光學(xué)顯微鏡類似,不同點(diǎn):光學(xué)顯微鏡用可見光作照明束,透射電子顯微鏡用電子為照明束。光學(xué)顯微鏡中聚焦成像用玻璃透鏡,TEM中為磁透鏡,電子波長極短,且與物質(zhì)作用遵從布拉格方程(λ=2dsinθ),產(chǎn)生衍射現(xiàn)象所以TEM具有高分辨率且有結(jié)構(gòu)分析功能。

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