氦質(zhì)譜檢漏儀采用磁偏轉(zhuǎn)原理制成，對(duì)泄漏氣體氦反應(yīng)敏感，用于泄漏檢測(cè)。那么氦質(zhì)譜檢漏儀的泄漏檢測(cè)方法有多少種呢？詳細(xì)介紹如下：

1.吸槍法

檢測(cè)部件填充高于大氣壓的探測(cè)氣氦，泄漏探測(cè)器的泄漏接口連接稱為吸槍氣體收集器。當(dāng)樣品泄漏時(shí)，泄漏的氦被吸槍吸入泄漏探測(cè)器進(jìn)行檢測(cè)。吸槍在樣品表面移動(dòng)，同時(shí)凝視泄漏探測(cè)器泄漏率指示的變化。一旦泄漏增加，吸槍的位置就會(huì)泄漏。因此，吸槍法也是一種可以確定泄漏的泄漏檢測(cè)方法。

2.鐘罩法-測(cè)量總漏率

將被檢件與儀器漏口連接，抽真空。被檢件的外側(cè)覆蓋著充滿氦氣的器皿。如果被檢件有漏孔，氦氣將從漏孔進(jìn)入被檢件。Z質(zhì)譜管最終被檢查。泄漏率是被檢件的總泄漏率，不能確定幾個(gè)泄漏點(diǎn)和每個(gè)泄漏的準(zhǔn)確位置?？梢钥闯?，鐘罩法是一種基于噴射法的泄漏測(cè)量方法。

3.背壓法-測(cè)量總漏率

電子元件氣密性檢測(cè)常見的背壓方法。泄漏測(cè)量前，用專用加壓器將氦壓入檢測(cè)部件（壓力和時(shí)間控制），然后取出檢測(cè)部件，吹出表面吸附氦，放入專用泄漏罐，然后將泄漏罐連接到泄漏測(cè)量器的泄漏測(cè)量端口，真空泄漏測(cè)量罐，實(shí)施泄漏測(cè)量。如果設(shè)備泄漏，通過(guò)泄漏孔將氦壓入泄漏罐，Z最終到達(dá)質(zhì)譜管。用這種方法測(cè)量的漏率也是總漏率。

協(xié)助真空系統(tǒng)

如果對(duì)子泄漏速度和放氣速度較大或體積較大的被檢件直接與泄漏檢測(cè)儀連接，泄漏檢測(cè)儀的真空值可能無(wú)法提高，因此泄漏檢測(cè)儀無(wú)法工作。在這種情況下，需要添加一個(gè)協(xié)助真空系統(tǒng)來(lái)提高被檢測(cè)部件的速度。Z簡(jiǎn)單的輔助真空系統(tǒng)只需要一個(gè)機(jī)械泵和兩個(gè)閘閥，復(fù)雜的系統(tǒng)可以由前泵、二次泵、閘閥、真空規(guī)則和標(biāo)準(zhǔn)漏孔組成。二次泵可使用擴(kuò)散系統(tǒng)或羅茨泵前可使用氣鎮(zhèn)機(jī)械泵。

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