電子光電行業(yè)廢氣處理工藝
一、電子光電行業(yè)廢氣簡述:
? 電子行業(yè)一般分為電子專用材料、電子元件、印制電路板、半導(dǎo)體器件、顯示器件及光電子器件、電子終端產(chǎn)品六大類。但是其生產(chǎn)制造過程中會(huì)產(chǎn)生大量有機(jī)廢氣,根據(jù)環(huán)保要求需要安裝廢氣處理設(shè)備進(jìn)行有效治理。 廢氣來源 光電顯示行業(yè)的廢氣主要來源于液晶面板工序的光刻、刻蝕、保護(hù)膜生成而產(chǎn)生的有機(jī)廢氣、酸性廢氣、堿性廢氣及有毒廢氣。 廢氣成分 光電顯示行業(yè)廢氣污染物包括苯、甲苯、二甲苯、丙酮、異丙醇、2-丁酮、乙酸乙酯、二氯甲烷、NMHC等有機(jī)廢氣、酸性廢氣和堿性廢氣及有毒廢氣。
二、電子光電行業(yè)廢氣處理方案:
? 根據(jù)多年環(huán)保廢氣治理經(jīng)驗(yàn)采用:沸石轉(zhuǎn)輪吸附濃縮+RTO蓄熱焚燒裝置? 沸石轉(zhuǎn)輪是將大風(fēng)量、低濃度的廢氣濃縮到高濃度、小風(fēng)量的廢氣,從而減少設(shè)備的投入費(fèi)用和運(yùn)行成本,提高VOSs廢氣的效率處理。沸石轉(zhuǎn)輪系統(tǒng)是目前治理VOCs的較為常見設(shè)備,集吸附、解吸、濃縮一體化。

? RTO蓄熱焚燒裝置采用天然氣直接燃燒有機(jī)廢氣,在750-850℃的高溫狀態(tài)下,將有機(jī)物分子中的C、H分解為無害的CO2和H2O。經(jīng)燃燒后的煙氣通過蓄熱陶瓷后將高溫能量儲(chǔ)存在蓄熱陶瓷內(nèi)部以便于預(yù)熱有機(jī)廢氣,過蓄熱陶瓷的煙氣達(dá)標(biāo)排放。廢氣進(jìn)出口可以通過切換閥來自由切換進(jìn)行循環(huán)進(jìn)氣處理,RTO可充分回收熱能使得能耗大大降低。
三、電子光電行業(yè)廢氣處理設(shè)備特點(diǎn):
? 1、吸附、脫附效率高≥95%,沸石壽命長,持續(xù)脫附并處理污染物,無壓力波動(dòng)。
? 2、沸石不可燃,安全性高。沸石轉(zhuǎn)輪吸附VOCs所產(chǎn)生的壓降極低,可大大減少電力能耗。
? 3、使原本高風(fēng)量、低濃度的VOCs廢氣,轉(zhuǎn)換成低風(fēng)量、高濃度的廢氣,濃縮倍數(shù)達(dá)到5-20倍,大大縮小后處理設(shè)備的規(guī)格,運(yùn)行成本低。
? 4、體系統(tǒng)采用模組化設(shè)計(jì),具備了小的空間需求,且提供了持續(xù)性及無人化的操控模式。
? 5、系統(tǒng)自動(dòng)化控制,單鍵啟動(dòng),操作簡單,并可搭配人機(jī)界面監(jiān)控操作數(shù)據(jù)。