氦質(zhì)譜檢漏儀是氣體工業(yè)術(shù)語(yǔ)，用氦或氫作為泄漏氣體，用氣體分析儀檢測(cè)氦，測(cè)量泄漏的質(zhì)譜儀。氦的底部噪音低，含量和粘度系數(shù)小，容易通過泄漏和擴(kuò)散；此外，氦是一種稀有氣體，不腐蝕設(shè)備，因此常見的氦作為泄漏氣體。將這種氣體噴灑在帶有氣體分析儀（調(diào)整到氦反應(yīng)的工作狀態(tài)）的被檢測(cè)容器上。如果容器有泄漏，分析儀會(huì)發(fā)生反應(yīng)，然后可以看到泄漏的位置和泄漏的大小。

氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)技術(shù)是真空泄漏檢測(cè)領(lǐng)域不可缺少的技術(shù)。由于泄漏檢測(cè)效率高、操作簡(jiǎn)單、儀器響應(yīng)靈敏、精度高，不易受其他氣體影響，在電阻爐泄漏檢測(cè)中得到廣泛應(yīng)用。氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)儀是一種基于質(zhì)譜原理的氣密性檢測(cè)儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室、抽氣系統(tǒng)和電氣部分組成。質(zhì)譜室鎢絲發(fā)射的電子在室內(nèi)來(lái)回沖擊，與室內(nèi)氣體和氦進(jìn)入室內(nèi)的泄漏相互沖擊，使其電離成正離子。這些氦離子在加速電場(chǎng)的影響下進(jìn)入磁場(chǎng)，由于洛倫茲力偏移，產(chǎn)生弧軌，改變加速電壓，可以通過磁場(chǎng)和接收縫檢測(cè)不同質(zhì)量的離子到接收極。氦和氦吸收法是電阻爐泄漏檢測(cè)中最常用的兩種方法。

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