Q：所測(cè)2個(gè)元素的窄譜峰有重合，無(wú)法分峰？

? ? ? ?可嘗試測(cè)其中某一元素其它軌道峰，來(lái)避免與另一元素窄譜峰重合。

Q：數(shù)據(jù)中C、N、O元素含量比實(shí)際樣品的高，或沒有C、N、O但是測(cè)出來(lái)了？

? ? ? ?1.樣品吸附了空氣中的污染物導(dǎo)致，在數(shù)據(jù)處理時(shí)，把非樣品所含有的污染物的峰先分出來(lái)，剔除掉 ，再重新計(jì)算含量。

? ? ? ?2.如果對(duì)這個(gè)要求較嚴(yán)，建議后期樣品制備后抽真空密封保存，測(cè)試時(shí)選擇手套箱制樣并測(cè)試；如果是非粉體樣品，可選擇刻蝕后測(cè)試。

Q：樣品不含有這個(gè)元素，為什么全譜測(cè)出這個(gè)元素了（除CNO）？

? ? ? ?1.樣品理論上應(yīng)該不含有，但是樣品在處理過(guò)程中是有引入該元素的成分，在后續(xù)的處理過(guò)程沒有完 全處理干凈.

? ? ? ?2.待測(cè)試樣品是在某種基底上測(cè)試的，但待測(cè)試樣品量較少，測(cè)試到了基底。

? ? ? ?3.被同一批次的其他樣品，或者有易揮發(fā)組分（如S、F），或者進(jìn)行刻蝕后，污染了該樣品表面。

Q：某元素含量很高大概5%，測(cè)出來(lái)信噪比很差，而有的元素含量很低0.5%，測(cè)出來(lái)信噪比反而很好？

? ? ? ?1.不同元素的主峰的靈敏度因子和檢測(cè)限不一樣。

? ? ? ?2.樣品分布不均勻。

? ? ? ?3.該元素不分布在樣品表面，即不在XPS所測(cè)微區(qū)范圍內(nèi)。

Q：?jiǎn)朮PS測(cè)試，譜圖如何校正、定標(biāo)？

? ? ? ?一般是以C-C峰284.6ev進(jìn)行校正的，總譜、分譜是不同的測(cè)試方法，所有不是一起校正的，只校正分譜數(shù)據(jù)，總譜不用校正；價(jià)帶譜VB是以剛出峰的位置為0進(jìn)行校正的。

Q：?jiǎn)朮PS半定量處理時(shí)，元素測(cè)試了不同軌道的譜圖，定量以哪個(gè)為準(zhǔn)？

? ? ? ?定量是以元素的特征軌道譜圖為準(zhǔn)，如果存在多個(gè)軌道，切忌重復(fù)計(jì)算；若不同元素間軌道有重合，一般需要掃一下元素的非特征軌道來(lái)計(jì)算含量。

總結(jié)

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