2023國產(chǎn)EUV光刻機最新進展及突破方向！中國實打?qū)崗母鱾€角度、各個全面方向發(fā)
一、EUV光源
13.5納米，1981用了十年才得出13.5納米方案才能實現(xiàn)EUV光刻機，花了幾十億美金
二、 用什么原子
2015年找到了答案。氙在電離后能夠產(chǎn)生EUV的離子其能量轉(zhuǎn)換效率很低，只有0.45%到1% .而錫在等離子體狀態(tài)下都能產(chǎn)生13.5的極端紫光外，其轉(zhuǎn)換效率非常高，0.7%~6%。 至于鋰0.1%~3%。 所以EUV光源商業(yè)化技術(shù)選擇了錫
三、氙和鋰如何電離原則產(chǎn)生等離子體
- LPP 激光等離子體技術(shù)(ASML目前采用的技術(shù)，已經(jīng)實現(xiàn)輸出250功率的EUV)
- DPP 氣體放電等離子技術(shù)(其轉(zhuǎn)換效率太低)
- LDP 激光輔助放電技術(shù)(日本優(yōu)志旺公司擁有，與LPP同時出現(xiàn)，但 功率無法快速提高。2019年賣出了第一臺光源 )
LPP是ASML采取的技術(shù)。
LPP需要大功率激光器，2W的功率。只有美國和德國可以供應。
FPGA: 并行計算
最前沿的技術(shù)是教你怎么用積木搭個房子。但是不會教你怎么造積木 。在歐美的環(huán)境里，這些積木每一種都有專門的公司生產(chǎn)，有錢就能買到的。而中國其實不是不知道怎么搭積木 ，而是沒有積木 買不到積木。很多積木自己造不出來 。而造積木這事兒其實并不是哥德巴赫猜想，費馬定理 ，必須要天才才能解決 。更多的是一個手藝，是幾代人積累下來的細致活兒，做工考究，設計考研。
給ASML供應鏡頭的公司是德國大名鼎鼎的蔡司公司。特制鏡頭數(shù)值孔徑要超過0.5.
- EUV光刻機的光源IF功率多少瓦。
- 穩(wěn)定輸出EUV功率多長時間
大功率激光器種類
- 紅寶石激光器
- 二極管激光器
- 二氧化碳激光器
上萬瓦的激光器，世界上功率最大的激光器是激光武器。但不能持續(xù)放光。
國防科技和商業(yè)科技的區(qū)別。軍工和商業(yè)不一樣。
漢芯和武漢宏芯的鬧??？
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