氦質(zhì)譜檢漏儀是一種質(zhì)譜分析儀，主要用于真空檢漏，性能好，敏感性高。

氦質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)組成，有時(shí)還配備協(xié)助真空系統(tǒng)。

以下由小編為您詳細(xì)介紹：

一、質(zhì)譜室

形象地說，質(zhì)譜室是氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)儀的心臟，由離子源、分析器和電氣系統(tǒng)三部分組成，冷陰極磁控規(guī)則也被放置在其中，并使用其磁場(chǎng)。為了有利于微小的粒子流放大，高阻力和靜電計(jì)管也被放置在質(zhì)譜室內(nèi)。質(zhì)譜室殼由非磁性材料制成，內(nèi)部排空，外部磁石產(chǎn)生磁分析器的磁場(chǎng)。

二、真空系統(tǒng)

真空系統(tǒng)是提供質(zhì)譜室正常運(yùn)行的條件。由于鎢負(fù)極正常工作時(shí)需要0.001-0.01Pa真空值，證了氦離子在分析器中的高傳輸率，因此有必要建立一個(gè)高真空系統(tǒng)。系統(tǒng)中的節(jié)能閥是為了滿足質(zhì)譜室工作壓力的調(diào)工作壓力的調(diào)全打開時(shí)，泄漏測(cè)量的敏感性最高，因此在條件允許的前提下打開更大的泄漏。為了糾正泄漏測(cè)量的敏感性，系統(tǒng)設(shè)置了標(biāo)準(zhǔn)泄漏。

三、電氣系統(tǒng)

氦質(zhì)譜儀電氣部分的核心是質(zhì)譜室的電源和測(cè)量，其他部分包括真空系統(tǒng)的電源和控制部分、控制面板和導(dǎo)出儀器。主要包括小電流放大器和導(dǎo)出設(shè)備、低頻發(fā)生器、高壓整流器和輸送電流穩(wěn)定裝置，高壓整流器提供冷陰極磁控規(guī)則電源。

輔助真空系統(tǒng)配置

在氦質(zhì)譜儀泄漏測(cè)量技術(shù)中，根據(jù)結(jié)構(gòu)、規(guī)格要求和具體泄漏測(cè)量條件，設(shè)置輔助真空系統(tǒng)，確保泄漏儀工作真空值，進(jìn)行氣體分離，減少反應(yīng)時(shí)間和清除時(shí)間，減少對(duì)敏感性的不良影響，在某些環(huán)境下非常必要。

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