所有的氣源（載氣和氧氣）都應(yīng)通過(guò)潔凈干燥的銅管或不銹鋼管線來(lái)輸送。這些管線都應(yīng)經(jīng)過(guò)仔細(xì)的沖洗和干燥以確保高純氣體不受污染。清洗新管線時(shí)，先用三氯甲烷或三氯乙烷，然后用甲醇或丙酮，最后用空氣干燥。能夠溶解油或油脂的其它溶劑也可使用。所有溶劑都應(yīng)

是試劑級(jí)或品質(zhì)更好的溶劑。

所有的氣源都應(yīng)是高純氣體，其純度必須達(dá)到系統(tǒng)規(guī)定的要求。每一個(gè)鋼瓶都需配備一個(gè)兩級(jí)壓力調(diào)節(jié)器，以便將氣瓶壓力降到所要求的工作壓力。連接好所有的氣路接頭以后，應(yīng)仔細(xì)檢查系統(tǒng)有無(wú)泄漏，確保氣路系統(tǒng)的完好性。