多晶硅作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)材料，生產(chǎn)需求在逐年增大，排出的尾氣對環(huán)境帶來的污染問也在逐漸被關(guān)注。

一、多晶硅尾氣排放情況

多晶硅的尾氣源于合成、氫還原工序工序在，產(chǎn)生的尾氣成分主要有SiCl4、SiHCl3、HC1、H2、N2及少量的金屬氯化物，成分整體較為復(fù)雜有較大的環(huán)境污染威脅，傳統(tǒng)的處理方法多采用堿洗噴淋塔工藝 ，多晶硅生產(chǎn)中廢氣、廢液直接進入堿液（NaOH或CaO溶液)噴淋塔，生成NaCl、CaCl2、SiO2（粉）、Na2SiO3等，然后送至后續(xù)的廢水處理，進行進一步脫鹽和固體廢物處理；出噴淋塔的尾氣（含H2、其他惰性氣體）排空。但該方法存在一些弊端，安全性不夠高，會造成浪費。

二、多晶硅尾氣回收方法

根據(jù)多晶硅尾氣 特點和資源回收再利用的處理需求可選擇蓄熱焚燒一余熱回收一二氧化硅回收一急冷塔一鹽酸回收一噴淋塔一排放。從生產(chǎn)中排出的煙氣直接進入焚燒爐中進行高溫氧化反應(yīng)，分解氯硅烷后排出的高溫?zé)煔鉁囟绕毡樵?50℃左右，進入余熱回收設(shè)備降溫并回收煙氣中的余熱，利用煙氣的余熱間接加熱脫鹽水，使其變成蒸汽回用；煙氣經(jīng)余熱回收設(shè)備降溫后進入過濾器進行氣固分離，去除煙氣中的SiO2粉塵；除塵后的煙氣進入急冷塔，通過水的噴淋降低煙氣溫度，噴淋降溫塔出來的鹽酸經(jīng)過石墨換熱器與冷卻水換熱冷卻后進入噴淋裝置繼續(xù)對煙氣進行降溫，除塵降溫后的煙氣進入鹽酸回收裝置回收鹽酸，剩余煙氣中少量的Cl2和HCl通過堿液淋洗塔淋洗，后經(jīng)氣水分離器將處理后的煙氣通過引風(fēng)機進入煙囪排放。