參考資源：
第二三集、Silvaco TCAD ATLAS Tutorial by Engineering technology and society
積體電路工程_Silvaco (Atlas) YouTube

繼上一回我們快速瀏覽過各種語法後不實(shí)作一下怎麼知道理解多少呢？

以下是實(shí)際的程式碼環(huán)節(jié)。

第一個範(fàn)例：

一樣地，go atlas 代表我們呼叫 atlas 軟體，以下要跑電性分析；
mesh space.mult = 1.0 用於定義預(yù)設(shè)默認(rèn)的網(wǎng)格大?。?br>接續(xù)是一連串定義網(wǎng)格的確切位置與該線的寬度間隔。

從大到小、粗略到精細(xì)地定義區(qū)域的編號、材料與區(qū)域邊界；
摻雜的方式選擇 uniform 均勻的方式，並指定地區(qū)、種類與濃度；
電極的定義需要標(biāo)記電極名稱為何、名字無法任意取，根據(jù)用戶手冊，只可以是下面的名字：

亂輸入會報錯：?* Invalid parameter specification *

　　接著定義介面的不完美性，例如 固定電荷(fixed charge) Qf?有多少且分布的範(fàn)圍；
以及電極連接的位置，閘極可以定義金屬功函數(shù)是多少(倘若MOS的M是設(shè)定某種金屬，一般不用自行設(shè)定功函數(shù)，這裡的範(fàn)例是拿電極當(dāng)Metal來使用所以要標(biāo)註一下)

　　養(yǎng)成好習(xí)慣，設(shè)定好物理模型後請把檔案輸出以免跑電性時出錯，這樣就要從頭重新建模，寫下：SAVE outf=FILENAME.str?來輸出結(jié)構(gòu)檔。

auger是指歐傑再結(jié)合(auger recombination)，原理跟auger electron精神相同。意指當(dāng)載子發(fā)生再結(jié)合時不放出光、而是會讓電子或電洞跑到更高能階的現(xiàn)象。
conmob指的是concentration-dependent mobility，代表遷移率與摻雜濃度相關(guān)而非定值。fldmob是Field-dependent mobility，讓遷移率隨平行的電場大小而改變。以電子遷移率為例，其滿足：

β的設(shè)定是透過”BETAP”參數(shù)設(shè)定完成、預(yù)設(shè)是2.0。μ_n0 是常溫下低場下的電子遷移率。而電子的飽和速度 v_dsat,n 也是由別的模型計(jì)算而得(可參考ATLAS手冊)；
bgn是band gap narrowing effect，白話來說就是摻雜濃度上升時等效上會有能帶變窄的現(xiàn)象(參考半導(dǎo)體元件物理學(xué))，這用直觀想也很容易、摻雜上升除了載子濃度會上升，原本載子的空位也可以當(dāng)作中途階梯讓更加容易穿梭於價帶與導(dǎo)帶。這現(xiàn)象在高摻雜時很常見；
print是要求ATLAS最終會輸出這些特殊參數(shù)的數(shù)值。

METHOD 是指名仿真軟體要用怎樣的方法去解元件的電性；
OUTPUT 可以指名要把哪些物理量輸出：
　Qfn是EFn，也就是電子的準(zhǔn)費(fèi)米能階、Qfp同理；
　qss是Qs，也就是表面電荷(surface charge)；
　e.temp是電子溫度、q.temp則是電洞溫度；
　j.disp是代表位移電流。

接著是解電性的環(huán)節(jié)。SOLVE init 是讓每個電極的電壓都取0然後解一次初始條件；
SOLVE prev 是依據(jù)上一個狀況再進(jìn)行一次電性分析，據(jù)說這常用於Grid改變時(Re-gird)的狀況。
接著讓系統(tǒng)在 VD=0.1、0.5 各解一次電性方程，最後才把 VD 升到目標(biāo)的 1 V，倘若刪掉SOLVE VD=0.1, 0.5 會讓解發(fā)散，所以猜測是讓系統(tǒng)一步步增加VD而能找到最近的穩(wěn)定解。
SOLVE ac freq=1e6 vgate=0 vstep=0.1 vfinal=1 name=gate 則是增加VG從0V到1V、每隔0.1V解一次、小信號交流頻率是 10^6 Hz。

TONYPLOT girish.str?與 girish.log 是調(diào)用TONYPLOT把結(jié)構(gòu)檔與電性分析圖繪出。girish是印度人的名字啦~跑出的結(jié)果如下：

我們可以在IV圖上右鍵選擇Display，調(diào)整要顯示的參數(shù)：

例如可以看電容跟電導(dǎo)，Gate>Gate是指Gate看出去的總電容/電導(dǎo)

對於多張IV圖，我們可以利用滑鼠滾輪作為複數(shù)選取(平常用電腦是Ctrl+滑鼠左鍵)，選取複數(shù)數(shù)據(jù)圖後選Edit>Make overlay就可以疊圖了

反之，對於疊圖的圖片，也可以選擇"Split overlay"拆開疊圖。然後我們對於圖形的"加工"，或者說Display的選擇，可以存起來：

之後打開數(shù)據(jù)圖後，按Open Set File就可以不用再手動調(diào)整啦。也可以直接在DeckEdit上的code輸入例如：

「TONYPLOT -st mos1ex02_0.str -set mos1ex02_0.set」或是
「TONYPLOT -overlay -st mos1ex02_1.log? mos1ex02_2.log mos1ex02_3.log -set mos1ex02_1.set」

TONYPLOT後面的語法用「-名稱」的方式標(biāo)記後面參數(shù)的意義，例如"-st"或"-structure"就是特別註記後面是要開啟"檔名.str"檔案的結(jié)構(gòu)檔；
"-overlay 1.log 2.log 3.log"的語法則是告訴TONYPLOT把三張圖疊在一起；" -set 檔名.set"則是匯入先前存好的TONYPLOT設(shè)定

對於結(jié)構(gòu)圖也可以調(diào)整Display：

檔案的儲存可以點(diǎn)選Save as存成png檔，2019版的則可以匯出csv檔(舊版可以善用LOG csvfile=檔名.csv輸出)。

此外，可以選擇切線來看某個剖面的資訊：

一樣地，我們可以右鍵剖面資訊，這時就可以看到很多選項(xiàng)：

如果沒看到像"Current"之類的，注意一下「OUTPUT～」的程式碼有沒有在「SAVE～.str」之前。在他之後會存不到資訊。

這次就先到這裡~ 我是丹丹，期待我們下次再見!