上海電子無塵車間凈化要求_冠石凈化
隨著計算機(jī)、微電子和信息技術(shù)的發(fā)展,推動電子制造業(yè)飛速發(fā)展的同時,也帶動了潔凈室技術(shù)的發(fā)展,同時對潔凈室的設(shè)計提出了更高的要求。電子制造業(yè)潔凈廠房的設(shè)計是一項綜合的技術(shù),只有充分了解電子制造業(yè)潔凈廠房的設(shè)計特點,做到設(shè)計合理,才能讓電子制造產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)品次品率降低,提高生產(chǎn)效率。

首先是凈化廠房的隔斷、屋頂、墻面彩鋼板的選擇。一般50毫米厚的夾芯彩鋼板比較合適,不僅美觀,而且剛性好。在地坪材料的選擇方面,一般電子車間多采用靜電環(huán)氧樹脂或PVC地坪。送風(fēng)口的選擇,一般在潔凈室與更高的要求,可以選擇液體儲罐送風(fēng)口,沖網(wǎng)孔板,可以選擇涂鋁板,這是不容易積累灰塵和鐵銹,更方便清洗。
電子車間人員凈化。在潔凈室的入口處設(shè)置風(fēng)淋室。單臺風(fēng)淋室按30人班次設(shè)置。風(fēng)淋室的出入口不應(yīng)同時打開,應(yīng)選擇聯(lián)鎖控制措施。如果是潔凈室的設(shè)備和物料進(jìn)出口,則應(yīng)獨立設(shè)置,也應(yīng)設(shè)置貨淋室。如果物料或產(chǎn)品需要在不同層次的潔凈車間進(jìn)行轉(zhuǎn)移,應(yīng)設(shè)置轉(zhuǎn)移窗口。

不同潔凈室之間的靜壓差和凈化參數(shù)的問題。不同等級潔凈室之間的靜壓差應(yīng)大于等于5pa,潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差也應(yīng)大于5pa。凈化車間的通風(fēng)頻率是根據(jù)潔凈室的級別來確定的。潔凈車間不同級別的通風(fēng)頻率不同。潔凈度等級越高,凈化車間每小時的通風(fēng)頻率越頻繁。
潔凈度等級要求高 , 風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控 , 照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計或規(guī)范受控,另外該類潔凈室對靜電要求其嚴(yán)格。其中對濕度的要求尤甚。因為過于干燥的廠房內(nèi)產(chǎn)生靜電,造成 CMOS 集成損壞。一般來說,電子廠房的溫度應(yīng)控制在 22 ℃ 左右,相對濕度控制在 50-60% 之間 ( 潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定 ) 。 這時可有效地消除靜電,并使人也感覺舒適。芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分,由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和要求為嚴(yán)格,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。

電子制造廠萬級無塵車間內(nèi)的噪聲級(空態(tài)):不應(yīng)大于 65dB(A)
電子制造廠無塵車間垂直流無塵車間滿布比不應(yīng)小于 60% ,水平單向流無塵車間不應(yīng)小于 40% ,否則就是局部單向流了。
電子制造廠無塵車間與室外的靜壓差不應(yīng)小于 10Pa ,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于 5Pa
電子制造行業(yè)萬級無塵車間內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項中的值:
補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。
保證供給無塵車間內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于 40m3 。
電子制造行業(yè)無塵車間凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器,應(yīng)設(shè)置新風(fēng),超溫斷電保護(hù),若采用點加濕時應(yīng)設(shè)置無水保護(hù),寒冷地區(qū),新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。