精彩“新一站”|攻克行業(yè)痛點 合肥欣奕華賦能智能制造

大尺寸Mini LED巨量轉(zhuǎn)移設備、AMOLED及硅基蒸鍍機、顯示面板OS檢測設備、顯示面板潔凈搬運機器人……這些極具行業(yè)競爭力的國際、國內(nèi)首臺套重大技術(shù)裝備產(chǎn)品，均來自位于安徽省合肥市新站高新區(qū)的合肥欣奕華智能機器股份有限公司(下文簡稱“合肥欣奕華”)。

作為工業(yè)4.0時代我國先進的泛半導體智能制造整體解決方案供應商，合肥欣奕華自2013年成立至今，已相繼攻關(guān)了多項泛半導體行業(yè)重大難點技術(shù)，擁有超300項自主研發(fā)專利，多項核心技術(shù)達到國際先進水平，為我國新型顯示產(chǎn)業(yè)鏈“補鏈”“強鏈”發(fā)揮了重要作用。

在世界制造業(yè)大會上，合肥欣奕華作為安徽技術(shù)創(chuàng)新的代表之一，攜公司研發(fā)的國內(nèi)首臺蒸鍍機產(chǎn)品受邀參展。該公司合肥區(qū)域總經(jīng)理兼OLED事業(yè)部總經(jīng)理曹景博介紹，公司最新研發(fā)的應用于鈣鈦礦領(lǐng)域的蒸鍍機已經(jīng)交付客戶使用，而公司自2020年開始布局的半導體AMHS系統(tǒng)開發(fā)，也于近期完成Demo開發(fā)并通過客戶技術(shù)規(guī)格認證。

核心裝備國產(chǎn)化 國內(nèi)首臺補空白

蒸鍍機作為OLED顯示行業(yè)的“心房”，其作用是把顯示材料精準、均勻地蒸鍍到基板上形成發(fā)光膜層，是保障高精細度顯示產(chǎn)品順利量產(chǎn)的核心要素之一。而在2015年之前，該設備長期被國外壟斷，國內(nèi)面板制造企業(yè)曾經(jīng)為了購買這樣一臺機器，需要一次性拿出十幾億元(人民幣，下同)采購款項，且費盡周折才能買到。蒸鍍設備一機難求曾經(jīng)是限制國內(nèi)面板廠商擴大OLED產(chǎn)能的重要原因。

為了解決行業(yè)痛點，2015年，合肥欣奕華開始布局蒸鍍設備研發(fā)?！罢翦儥C研發(fā)過程中，包括控制蒸鍍薄膜的均勻性、控制高精密對位系統(tǒng)以及保持腔體的高真空度等很多方面都是研發(fā)難點?！辈芫安┙榻B，團隊經(jīng)過三年的攻關(guān)，才在2017年推出了第一代G1 OLED蒸鍍及封裝系統(tǒng)設備，為我國在這一裝備技術(shù)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了突破，填補了國內(nèi)顯示行業(yè)上游核心設備的缺失。然而G1 OLED蒸鍍機的很多核心零部件、配套元件都是國外進口，要想真正提升國產(chǎn)蒸鍍機在行業(yè)內(nèi)的競爭力，避免因貿(mào)易環(huán)境帶來的核心部件的封鎖等風險，提高蒸鍍機設備的國產(chǎn)化率必不可少。

“以蒸鍍機真空腔體的部件加工為例，蒸鍍機要求其真空腔體要達到10^(-5)Pa，同時為了保證OLED器件性能，其表面的離子濃度要控制在PPB級別(濃度單位)，要求非常高，但是我們在國內(nèi)找了很多供應商，都達不到這樣的標準。”曹景博表示，此前公司是與韓國企業(yè)合作，后來在研發(fā)第二代G2.5 OLED蒸鍍機的過程中，公司主動向韓國供應商學習探討控制零部件表面離子濃度的工藝方法，學習國外先進的工藝流程，然后再與國內(nèi)有潛力的供應鏈企業(yè)一同研發(fā)這項技術(shù)。

“我們最后花了一年多時間的研發(fā)，終于同國內(nèi)供應商實現(xiàn)了零部件表面離子濃度參數(shù)的標準。”曹景博認為，對于起步較晚的國內(nèi)半導體行業(yè)來說，通過學習國外先進的技術(shù)，整合產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)攜手共同發(fā)展，國內(nèi)的產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)才能不斷提高競爭力。

研發(fā)投入達8% 建國際團隊促研發(fā)

此前，合肥欣奕華就曾遇到進口設備核心零部件斷供的問題，嚴重影響了公司設備的按期交付。曹景博認為，只有掌握核心技術(shù)才有話語權(quán)，因此國內(nèi)產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)提前布局創(chuàng)新研發(fā)是必不可少的。合肥欣奕華在研發(fā)投入方面，近年來一直持續(xù)增加，目前每年的研發(fā)投入已占銷售收入比重的8%左右。與此同時，合肥欣奕華打造泛半導體裝備校企聯(lián)合實驗室，與中國科學院、北京航空航天大學、北京理工大學、清華大學、西安交通大學、哈爾濱工業(yè)大學等高校合作，建立先進技術(shù)研究院和產(chǎn)品研發(fā)所等。

目前，合肥欣奕華已主持和參與國家重點研發(fā)計劃項目2項，承擔國家電子信息產(chǎn)業(yè)振興和技術(shù)改造專項2項，牽頭編制工業(yè)機器人行業(yè)標準1項。同時，更有5項產(chǎn)品通過了安徽省首臺套重大技術(shù)裝備認定。對于合肥欣奕華來說，自主知識產(chǎn)權(quán)構(gòu)筑的強有力核心技術(shù)是企業(yè)發(fā)展的最重要護城河。

曹景博介紹，合肥欣奕華的600名員工中，研發(fā)人員占比達70%，公司擁有30多名海外專家，核心團隊有超過平均10年的泛半導體領(lǐng)域行業(yè)經(jīng)驗，憑借先進的技術(shù)，以及不斷創(chuàng)新的能力，合肥欣奕華已成為智能制造領(lǐng)域重要的賦能者。

提升產(chǎn)業(yè)鏈議價權(quán) 售后維保降成本

自2015年布局蒸鍍機設備至今，合肥欣奕華已先后在該設備研發(fā)上投入數(shù)億元。2018年、2019年，合肥欣奕華相繼研制推出第二代G2.5 OLED蒸鍍機以及G8.5 OLED蒸發(fā)源系統(tǒng)，順利導入客戶量產(chǎn)。2021年，該公司自主研發(fā)的國內(nèi)首臺硅基蒸鍍機成功導入客戶量產(chǎn)線并完成全彩點亮。今年，最新研發(fā)的應用于鈣鈦礦領(lǐng)域的真空鍍膜機也交付客戶使用，而針對平板顯示最新的8.5高世代線的蒸鍍機設備，該公司已開始布局研發(fā)。

隨著合肥欣奕華在蒸鍍機設備領(lǐng)域研發(fā)的不斷突破，不僅解決了國內(nèi)部分企業(yè)對低世代線蒸鍍機設備的使用需求，更助力產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)在諸多方面降低成本。與此同時，合肥欣奕華還具備了為采購國外設備的企業(yè)進行售后維修保養(yǎng)的能力。對于半導體設備來說，邀請國外工程師進行售后維保是一項很大的開支，合肥欣奕華可以進一步為相關(guān)企業(yè)降低設備維保成本。

扎根平板顯示集聚區(qū) 凝聚合力共成長

京東方、維信諾、翰博高新等一批位于新站高新區(qū)的半導體產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)，如今都是合肥欣奕華的客戶。在2013年選址新站高新區(qū)時，合肥欣奕華就認準了這里打造平板顯示產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)的規(guī)劃前景。近年來，新站高新區(qū)加快建設國家級新型顯示產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)，招引了很多顯示產(chǎn)業(yè)上下游優(yōu)質(zhì)項目，配套能力越來越強，顯示產(chǎn)業(yè)布局亦越來越充實，基本上形成了從“沙子”到“整機”的顯示產(chǎn)業(yè)全鏈條。離客戶最近，離產(chǎn)業(yè)鏈最近，給合肥欣奕華的發(fā)展帶來了更多商機。

曹景博介紹，新站高新區(qū)目前匯聚新型顯示產(chǎn)業(yè)上下游企業(yè)95家，約占合肥市123家的77%，2021年新型顯示產(chǎn)業(yè)總產(chǎn)值同比增長超20%，這與合肥欣奕華聚焦新型顯示與半導體高端裝備、工業(yè)機器人和智能工廠解決方案的發(fā)展方向，高度契合。企業(yè)的發(fā)展也離不開新站區(qū)產(chǎn)業(yè)集群的助力，產(chǎn)業(yè)鏈的不斷健全，促進了企業(yè)供應體系的完善，讓公司不僅上游供應更有保障、成本更低，還利于與下游企業(yè)協(xié)同攻關(guān)，推動了企業(yè)市場開拓，并提高對下游企業(yè)的服務質(zhì)量。

在此基礎上，合肥欣奕華亦享受到了新站高新區(qū)賦能創(chuàng)優(yōu)營商環(huán)境推出的多項優(yōu)惠政策，其中，公司享受到的新產(chǎn)品研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目的政府專項資金扶持和稅收返還政策，平均每年都超過1000萬元。曹景博表示，這些政策的享受對于合肥欣奕華持續(xù)開展新產(chǎn)品研發(fā)，持續(xù)加大研發(fā)投入起到了關(guān)鍵作用，更為該公司后來順利推出多款國內(nèi)首臺套重大技術(shù)裝備產(chǎn)品奠定了基礎。