特征尺寸：半導體器件最小尺寸（CMOS表示柵寬即溝道長），一般特征尺寸（溝道長）小、性能高、功耗低，但是過小會導致短溝道效應（MOS關不斷（柵壓失去控制能力）：柵壓去掉，源極、漏極之間還存在漏電流），而漏電流存在會導致靜態(tài)功耗增大，為了降低此效應帶來的負面影響需要在器件結構、工藝方面改進。

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