在做掃描電子顯微鏡（SEM）測試時，科學指南針檢測平臺工作人員在與很多同學溝通中了解到，好多同學對sem測試不太了解，針對此，科學指南針檢測平臺團隊組織相關同事對網上海量知識進行整理，希望可以幫助到科研圈的伙伴們；

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加速電壓是掃描電鏡技術領域的一個重要術語。加速電壓的范圍為0.2~30KV，一般高壓指用20KV，低壓指小于10KV 。

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加速電壓的選用，取決于樣品的質量(包括導電性)、圖像質量的要求和倍率等情況。當樣品導電性好時，可選用高加速電壓，這時電子束能量大，激發(fā)的二次電子、背散射電子數(shù)量就多，有利于改善圖像的分辨率、信噪比和反差，對高倍觀察有利。但加速電壓過高會產生不利因素，我們一般選擇20kV的加速電壓。當樣品導電性差時，又不便噴碳、噴金，還要盡可能將樣品原來的面貌保存下來，取得高質量的掃描照片。而這類樣品容易產生充、放電效應，樣品充電區(qū)的微小電位差會造成電子束散開，使束斑擴大，從而損害分辨率。鄰近點的負電場又會使二次電子的軌跡產生偏離，從而降低清晰度。同時，表面負電場對入射電子產生排斥作用，改變了電子的入射角，從而使圖像不穩(wěn)定，產生移動、錯位，甚至使表面細節(jié)根本無法呈現(xiàn)，加速電壓越高這種現(xiàn)象越嚴重，此時選用低加速電壓(<10kV)，減少充、放電現(xiàn)象，提高分辨率。

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加速電壓選擇

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普通掃描電鏡加速電壓一般為0.5—30kv(通常用10－20 kV左右)。應根據(jù)樣品的性質、圖像要求和觀察倍率等來選擇加速電壓。

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對于：

1.金相試樣、斷口試樣等盡可能用高的加速電壓。

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2.如果觀察的樣品是凹凸的表面或深孔，為了減小入射電子探針的貫穿和散射體積，采用較低的加速電壓可改善 圖像的清晰度。

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3.對于容易發(fā)生充電的非導體試樣或容易燒傷的生物試樣，也應該采用低的加速電壓。

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