今年以來(lái)，中美之間這場(chǎng)沒(méi)有硝煙的“芯片戰(zhàn)爭(zhēng)”愈演愈烈。在美國(guó)拉攏之下，荷蘭、日本芯片設(shè)備的對(duì)華出口限制政策步步收緊。

7月23日，日本實(shí)施限制半導(dǎo)體制造設(shè)備出口新規(guī)正式生效，這對(duì)中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)最尖端的芯片制造領(lǐng)域帶來(lái)巨大壓力。此外，荷蘭光刻機(jī)巨頭ASML也步步收緊對(duì)華設(shè)備出口政策，甚至限制其設(shè)備的在華售后服務(wù)。

但也正是重重壓力，倒逼我國(guó)加快國(guó)產(chǎn)自研速度。近日，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體領(lǐng)域頻頻傳出好消息，國(guó)產(chǎn)高端芯片似乎看到了曙光。

上海微電子28nm浸潤(rùn)式光刻機(jī)

預(yù)計(jì)年底交付

近日，相關(guān)媒體消息稱，上海微電子正極力研發(fā)28納米浸潤(rùn)式DUV光刻機(jī)，預(yù)計(jì)在2023年底將交付國(guó)產(chǎn)第一臺(tái)SSA/800-10W光刻機(jī)設(shè)備。

同時(shí)，去年底官方公布華為一項(xiàng)名為“反射鏡、光刻設(shè)備及其控制方法”(CN115343915A)的新專利，未來(lái)能在EUV光刻機(jī)核心技術(shù)上取得的突破性進(jìn)展。另外，華中科技大學(xué)研制的OPC系統(tǒng)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)研制的鐳射干涉系統(tǒng)等，也各自有所突破，這都將加快推進(jìn)14納米、7納米甚至更低節(jié)點(diǎn)的光刻機(jī)研發(fā)工作。

我們知道，光刻機(jī)是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中最精密的設(shè)備，是制造芯片的核心裝備。ASML副總裁曾說(shuō)，光刻機(jī)是人類有史以來(lái)制造出的最復(fù)雜的機(jī)器。光刻機(jī)技術(shù)有多難？業(yè)界有一個(gè)形象的比喻：光刻機(jī)要實(shí)現(xiàn)用光在晶圓上畫(huà)圖，相當(dāng)于兩架客機(jī)齊頭并進(jìn)，一架機(jī)翼上掛一把刀，另一架飛機(jī)上粘一顆米粒，用刀在米粒上刻字。

當(dāng)前，全球光刻機(jī)市場(chǎng)主要被荷蘭阿斯麥、日本尼康和佳能所占據(jù)，我國(guó)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)處處被“卡脖子”。上海微電子副董事長(zhǎng)賀榮明在受訪時(shí)表示：“2002年，我國(guó)專家出國(guó)考察時(shí)，對(duì)方工程師說(shuō)，哪怕把所有圖紙都給你們，你們也未必能做出光刻機(jī)?！?/p>

回國(guó)后，賀榮明帶領(lǐng)上海微電子團(tuán)隊(duì)夜以繼日進(jìn)行技術(shù)攻關(guān)，終于在關(guān)鍵環(huán)節(jié)取得重大突破，為國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)帶來(lái)好消息。

若上海微電子28nm浸潤(rùn)式光刻機(jī)在年底順利交付，這將意味著，我們實(shí)現(xiàn)了90nm到28nm制程的飛。而且，28nm光刻機(jī)并不是只能生產(chǎn)28nm制程工藝的芯片，而是可以通過(guò)多次曝光，或是新的技術(shù)路線如中芯國(guó)際的N+1、N+2等技術(shù)，生產(chǎn)14nm甚至7nm制程工藝的芯片。一旦可以制造7nm芯片，就可以解決半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)大部分的需求，

對(duì)此，業(yè)內(nèi)人士普遍表示，我國(guó)企業(yè)加快核心領(lǐng)域自主研發(fā)，光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈上下游正不斷涌現(xiàn)出新進(jìn)展、新成果，國(guó)產(chǎn)化加速向前?！爸袊?guó)芯”正在崛起。

被反向“卡脖子”后

美國(guó)五角大樓擬從廢料中回收鎵

在美日荷不斷升級(jí)的限制之下，我國(guó)也已經(jīng)采取了反擊措施。

7月3日，我國(guó)對(duì)第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵材料鎵、鍺相關(guān)物項(xiàng)實(shí)施出口管制，這一政策今日（8月1日）起正式開(kāi)始實(shí)施。

此舉使得海外芯片廠開(kāi)始緊急囤貨。全球最大的鎵采購(gòu)商弗萊伯格復(fù)合材料公司（總部位于德國(guó)）此前表示，該公司幾乎完全依賴中國(guó)供應(yīng)商來(lái)滿足其對(duì)鎵的需求，以生產(chǎn)用于手機(jī)無(wú)線電信號(hào)放大器和光學(xué)電子產(chǎn)品的砷化鎵晶圓。中國(guó)對(duì)鎵的出口管制公告一出，客戶都開(kāi)始瘋狂囤積這些材料，整個(gè)行業(yè)非常緊張。

金屬鎵

基于此，全球的鎵、鍺價(jià)格已經(jīng)開(kāi)始上漲，不過(guò)此前漲幅并不算夸張，今天正式限制之后還有待觀察。

美國(guó)方面看起來(lái)也已經(jīng)受到影響，甚至準(zhǔn)備回收廢料中的鎵。

根據(jù)美媒彭博社報(bào)道，在中國(guó)對(duì)鎵實(shí)施出口管制后，五角大樓計(jì)劃在年底前首次與美國(guó)或加拿大公司簽署有關(guān)回收鎵的合同。鎵可用于半導(dǎo)體和軍用雷達(dá)系統(tǒng)。美國(guó)表示，美國(guó)目前擁有鍺的戰(zhàn)略儲(chǔ)備，但沒(méi)有鎵的庫(kù)存儲(chǔ)備。

中國(guó)地質(zhì)科學(xué)院礦產(chǎn)資源研究所2020年的一份報(bào)告顯示，目前全球金屬鎵的儲(chǔ)量約為23萬(wàn)噸，而中國(guó)的儲(chǔ)量居全球第一，達(dá)到19萬(wàn)噸，占全球儲(chǔ)量的80%左右。

相比之下，美國(guó)的鎵儲(chǔ)量還不到中國(guó)的1/40，只有0.45萬(wàn)噸。

美國(guó)防部發(fā)言人說(shuō)，計(jì)劃在12月31日之前動(dòng)用《國(guó)防生產(chǎn)法案》（DPA）中的優(yōu)先安排，“重點(diǎn)從現(xiàn)有其他產(chǎn)品廢物流中回收鎵”。

由此可見(jiàn)，我國(guó)的反向“卡脖子”行動(dòng)，已經(jīng)讓美國(guó)受到影響。而7月底，美國(guó)芯片三巨頭英特爾、高通和英偉達(dá)CEO集體行動(dòng)，勸說(shuō)拜登政府收手對(duì)華限制政策，可見(jiàn)這場(chǎng)“芯片戰(zhàn)”中，美國(guó)也已經(jīng)受到不小的損失。

另外，值得一提的是，7月31日，商務(wù)部、海關(guān)總署、國(guó)家國(guó)防科工局、中央軍委裝備發(fā)展部聯(lián)合發(fā)布了關(guān)于無(wú)人機(jī)出口管制的兩個(gè)公告。分別對(duì)部分無(wú)人機(jī)專用發(fā)動(dòng)機(jī)、重要載荷、無(wú)線電通信設(shè)備和民用反無(wú)人機(jī)系統(tǒng)等實(shí)施出口管制，對(duì)部分消費(fèi)級(jí)無(wú)人機(jī)實(shí)施為期2年的臨時(shí)出口管制，同時(shí)，禁止其他未列入管制的所有民用無(wú)人機(jī)出口用于軍事目的。上述政策將于9月1日起正式施行。此前，已經(jīng)向有關(guān)國(guó)家和地區(qū)作了通報(bào)。

上海微電子光刻機(jī)方面的突破，僅僅是我國(guó)企業(yè)在光刻機(jī)走向自主可控進(jìn)程中付出努力的一個(gè)縮影。隨著產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)的共同努力，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率日漸提升。

浙商證券研報(bào)表示，當(dāng)前我國(guó)在清洗、熱處理、去膠設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化率分別達(dá)到34%、40%、90%；在涂膠顯影、刻蝕、真空鍍膜的國(guó)產(chǎn)化率達(dá)到10%至30%；在原子層沉積、光刻、量測(cè)檢測(cè)、離子注入的國(guó)產(chǎn)化率暫時(shí)低于5%。

中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)副理事長(zhǎng)于燮康也對(duì)記者表示：“盡管我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)面臨技術(shù)等各種挑戰(zhàn)，但高速增長(zhǎng)的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)規(guī)模也為產(chǎn)業(yè)升級(jí)優(yōu)化提供了重要機(jī)遇?！?/p>