超純水在以電路板為主的電子元器件生產(chǎn)中的作用越來越重要，超純水的質(zhì)量已成為影響電路板、電子元器件產(chǎn)品質(zhì)量、生產(chǎn)產(chǎn)量和生產(chǎn)成本的重要因素之一。在電子元器件的生產(chǎn)中，超純水主要用于清洗水和用于配制各種溶液、漿液，不同的電子元器件在生產(chǎn)中對純水和水質(zhì)的要求是不同的。

　　在晶體管和集成電路的生產(chǎn)中，超純水主要用于清洗硅片，少量用于制備藥液、硅氧化的水蒸氣源、一些設(shè)備的冷卻水、制備電鍍液等。集成電路生產(chǎn)中80%的工序都需要用高純水來清洗硅片，水質(zhì)的好壞與集成電路產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)量有很大關(guān)系。水中的堿金屬(K、Na等)會使絕緣膜產(chǎn)生耐壓，重金屬(Au、Ag、Cu等)會使PN結(jié)電壓降低，III族元素(B、Al、Ga等)會使N型半導(dǎo)體特性變差，V族元素(P、As、Sb等)會使P型半導(dǎo)體特性變差。會使P型半導(dǎo)體特性變壞，水中的細(xì)菌經(jīng)過高溫碳化后的磷（約占灰分的20-50%）會使P型硅片的局部區(qū)域變成N型硅而導(dǎo)致器件性能變壞，水中的微粒（包括細(xì)菌）如吸附在硅片表面，就會造成電路短路或特性變差。

　　電子超水設(shè)備是為了保證電子產(chǎn)品的質(zhì)量安全，促進(jìn)電子行業(yè)的健康運(yùn)行，電子超純水設(shè)備用于集成電路生產(chǎn)中高純水清洗硅片、半導(dǎo)體材料、晶圓材料的生產(chǎn)、加工。