本文將分三部分介紹如何用ORIGIN軟件處理XPS測(cè)試能譜數(shù)據(jù)：

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1、多元素譜圖數(shù)據(jù)處理

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2、剖面分析數(shù)據(jù)處理

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3、復(fù)雜譜圖的解疊

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一、多元素譜圖的處理：

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1、將ASC碼文件用NOTEPAD打開(kāi)：

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2、復(fù)制Y軸數(shù)值。打開(kāi)ORIGIN，將Y軸數(shù)據(jù)粘貼到B（Y）：

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3、如圖：點(diǎn)擊工具欄plot，選擇line

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4、出現(xiàn)下圖：點(diǎn)擊B（Y），再點(diǎn)擊<->Y，使B（Y）成為Y軸數(shù)據(jù)。然后在“set X values”中輸入起始值和步長(zhǎng)。

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5、點(diǎn)擊OK，得到下圖：

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6、利用ORIGIN提供的工具可以方便的進(jìn)行平滑、位移。

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A. 位移：

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1）如圖：選擇analysis→translate→vertical或horizontal可以進(jìn)行水平或垂直方向的位移。我們以水平位移為例進(jìn)行講解。

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2）在圖中雙擊峰頂，如圖示（小窗口給出的是此點(diǎn)的X，Y值）

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3）然后在圖中單擊其他位置找到合適的X值（小窗口給出的是紅十字的X，Y值）??

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4）雙擊紅十字的位置，峰頂就會(huì)位移到此處：

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位移可以反復(fù)多次的進(jìn)行，垂直方向的位移和水平方向的一樣。

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B、平滑

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1）如圖選擇：

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2）出現(xiàn)下面的小窗口

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3）點(diǎn)擊settings出現(xiàn)下面的界面（如果想用平滑后的代替原始的，選擇“replace original”,如果想重新做圖選“add to worksheet”，下面的數(shù)值不用改變）

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4）點(diǎn)擊operation,選擇savizky-golay進(jìn)行平滑。得到下圖：?

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二、剖面分析數(shù)據(jù)處理：

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1、用寫(xiě)字板打開(kāi)ASC碼文件，選取所需要的元素

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2、打開(kāi)ORIGIN軟件，如圖示：選擇column→add new columns

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如果你的數(shù)據(jù)有九個(gè)cycle那么你要在下面的窗口選擇8。

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然后在B（Y）….J（Y）中依次輸入不同cycle的Y軸數(shù)值

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點(diǎn)擊圖中下方工具欄的waterfall

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然后在下圖中先輸入X軸起始值及步長(zhǎng)，再將Y值輸入（點(diǎn)擊B（Y），然后按住SHIFT鍵不放，再點(diǎn)擊最后一個(gè)Y值選項(xiàng)：如E（Y），松開(kāi)SHIFT 鍵，點(diǎn)擊ADD 鍵。

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點(diǎn)擊OK得到下圖：

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應(yīng)用修改工具得：（X OFFSET 設(shè)為0，Y OFFSET 設(shè)為100）注意譜線對(duì)應(yīng)的CYCLE數(shù)

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如果想要得到其中某一個(gè)cycle的譜圖，只要調(diào)出原來(lái)的worksheet（數(shù)據(jù)表），再次點(diǎn)擊waterfall。輸入X軸數(shù)據(jù)，然后只選一組Y軸數(shù)據(jù)（和多元素分析一樣），就可以了。

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注：不同樣品同種元素比較也可以用此種方法

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三、譜圖解疊：

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和多元素分析步驟一樣，經(jīng)過(guò)平滑、位移,得到下圖：（注：畫(huà)圖時(shí)，先輸入X軸步長(zhǎng)等，再輸入Y軸數(shù)據(jù)）

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1、去本底：選擇tools→baseline

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2、出現(xiàn)下面的窗口，選擇baseline，將number of points后的參數(shù)改小一些，比如2，點(diǎn)擊create baseline

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3、出現(xiàn)下圖：選擇小窗口中的modify：

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4、拖動(dòng)每一點(diǎn)到合適的位置（點(diǎn)住鼠標(biāo)左鍵不放一直拖到合適的位置）：如圖

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5、然后選擇substract得到

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6、分別點(diǎn)擊X軸、Y軸將坐標(biāo)更換為原來(lái)順序和數(shù)值：

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7、如圖：選擇analysis→Fit multi-peaks→gaussian

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8、出現(xiàn)下面的窗口：按需要擬合的子峰個(gè)數(shù)輸入

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9、點(diǎn)擊ok，得到：

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10、點(diǎn)擊OK默認(rèn)選擇，根據(jù)譜圖的形狀雙擊選擇子峰位置（紅十字代表峰頂）：如圖

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11、剛才設(shè)置為兩個(gè)子峰，所以雙擊兩個(gè)位置，這時(shí)電腦自動(dòng)計(jì)算出相關(guān)數(shù)據(jù)：如果想要看擬合后的曲線，需激活（調(diào)出）譜圖窗口。然后，選擇analysisànon liner curve fit 如圖：

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12、得到：

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13、上圖不合理，兩子峰半峰寬相差太大，需要加入新的子峰進(jìn)行調(diào)整。點(diǎn)擊下圖中more按鈕

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14、出現(xiàn)下圖：

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15、選擇basic mode→start fitting回到原界面，點(diǎn)擊1 lter和10 lter 直到出現(xiàn)新的子峰

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16、上圖明顯也不合理，調(diào)節(jié)小窗口中各個(gè)子峰的數(shù)值?

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17、然后點(diǎn)擊下圖中done按鈕，再次選擇analysis→non-linear curve fit,反復(fù)修改直到得到滿意的譜圖

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