中微公司：小于5納米刻蝕設(shè)備已獲行業(yè)領(lǐng)先客戶批量訂單

中微公司日前接受機構(gòu)調(diào)研時表示，公司開發(fā)的12英寸高端刻蝕設(shè)備已運用在國際知名客戶65納米-5納米等先進芯片產(chǎn)線上；同時，公司根據(jù)先進集成電路廠商需求，已開發(fā)出小于5納米刻蝕設(shè)備用于若干關(guān)鍵步驟的加工，并獲得行業(yè)領(lǐng)先客戶的批量訂單。此外，電感性等離子刻蝕設(shè)備已在多個邏輯芯片和存儲芯片廠商產(chǎn)線上量產(chǎn)。

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