5月18日-5月19日，由華林科納舉辦的2023泛半導(dǎo)體濕法交流會第五期：化學(xué)流體系統(tǒng)技術(shù)與應(yīng)用交流會在江蘇南通市成功召開。會議共邀請42家企業(yè)參會，參會人員96人。本期交流會安排了學(xué)術(shù)技術(shù)交流報告、流體展示及實操等多種形式的活動，交流高純流體在濕法領(lǐng)域的技術(shù)與應(yīng)用，并展示了超100種高純流體產(chǎn)品。

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華林科納此次展廳參展產(chǎn)品包括PFA管（耐鹽酸）、PFA入珠接頭、PFA擴口接頭、PFA焊接接頭、PFA手動隔膜閥、PVDF過濾器，PFA磁制液位伸縮計、PFA溫度探頭、PFA加熱絲、PTFE風(fēng)囊泵、在線加熱器等多種產(chǎn)品，并向參會人員展現(xiàn)實時潔凈車間生產(chǎn)，獲得了業(yè)內(nèi)人士的認可。

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PTFE風(fēng)囊泵 CSE 30、CSE60、CSE 120

風(fēng)囊泵工作原理：壓縮空氣進入泵的氣相工作腔后，壓縮風(fēng)囊變形移動，通過換向閥控制壓縮空氣依次進入兩個氣相工作腔工作，利用液相腔的交替吸液排液，實現(xiàn)對液體的輸送。

華林科納自主研發(fā)PTFE風(fēng)囊泵，有CSE30、CSE60、CSE120三種型號。

華林科納PTFE風(fēng)囊泵優(yōu)勢：

①?專為半導(dǎo)體行業(yè)、電子行業(yè)而定制的專業(yè)完全無金屬氣動風(fēng)囊泵

② 無金屬設(shè)計，安全無泄漏，無橡膠O型圈，不漏水，無需緊固

③ 壽命長，可滿足200萬以上的形成周期使用

④ 過程安全的PTFE和PFA通道,且不產(chǎn)生任何顆粒異物之污染

⑤ 加入了減少脈動過高的裝置，可提供各種尺寸的平墊脈動阻尼器以減少空氣驅(qū)動泵產(chǎn)生的沖擊

⑥?潔凈室裝配、測試、封裝

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風(fēng)囊泵在濕法腐蝕清洗設(shè)備中主要有以下應(yīng)用：

（1）藥液恒溫控制：由風(fēng)囊泵、循環(huán)溢流槽、閥門、過濾器、管件、熱交換器，制冷機或加熱器等組成溫度控制系統(tǒng)。通過泵使藥液循環(huán)并在熱交換器內(nèi)進行熱交換用以實現(xiàn)藥液的恒溫控制。

（2）藥液的循環(huán)過濾：由風(fēng)囊泵、循環(huán)溢流槽、閥門、過濾器、管件等組成藥液的循環(huán)過濾系統(tǒng)。實現(xiàn)藥液的循環(huán)過濾，均勻流場。保證工藝槽藥液溫度和濃度的均勻性。

（3）廢液回收和再利用：100℃以下強腐蝕性藥液（如SPM）使用后廢液如直接從工藝槽排至廢液管道，由于溫度高，將導(dǎo)致排液管道的損壞，引起安全事故，采用工藝槽內(nèi)自然冷卻的方法又耗時過長，影響生產(chǎn)效率。一般采用高溫風(fēng)囊泵將槽內(nèi)藥液輸送至降溫槽，在降溫槽內(nèi)降溫后再排入排廢管道，這種方法即節(jié)省了時間，又保證了生產(chǎn)的安全性，被業(yè)界所廣泛采用。

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PFA材質(zhì)PTFE膜折疊濾芯

華林科納PFA材質(zhì)PTFE膜折疊濾芯是專為解決強氧化性高腐蝕性流體而開發(fā)的全氟濾芯，該濾芯采用PTFE濾膜為過濾介質(zhì),導(dǎo)流層、支撐層、中心桿、外殼端蓋、密封圈均為含氟材料，可用于半導(dǎo)體濕法應(yīng)用中的SC1，SC2，49HF，HNO，EKC,NMP等液體過濾打造。

產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)：

華林科納折疊濾芯采用親水改性的聚四氟乙烯(PTFE)濾膜折疊而成，使用時無需做預(yù)潤濕處理即可直接應(yīng)用于極性溶液，減少操作時間及維護成本。

流量特性：

濾芯設(shè)計優(yōu)良，確保在使用時壓降低的同時兼具有較好的顆粒去除效果。全氟的材料保證了濾芯具有極低的溶出物或者其他可能對工藝造成污染的成分，同時在使用過程中提供了非常良好的過濾效果。

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優(yōu)勢：

①?超高流速

②?更長的使用壽命（延長15%-20%）

③ 優(yōu)異的溫度耐受性能

④ 優(yōu)秀的化學(xué)兼容性，基本上適用于所有的強酸、強堿、腐蝕液、氧化劑

⑤ 全氟結(jié)構(gòu)，最大限度地減少金屬析出物和其他污染物

⑥?便捷的預(yù)濕選項，減少預(yù)操作時間

⑦?全程在潔凈室環(huán)境中制造，出廠前通過100%完整性測試