CHIPNOVA(超新芯)透射電鏡氣體光熱原位系統(tǒng)入圍2022年度科學(xué)儀器行業(yè)優(yōu)秀新品
“3i獎-2022年度科學(xué)儀器行業(yè)優(yōu)秀新品”下半年入圍獎評審已經(jīng)結(jié)束,經(jīng)專業(yè)編輯團(tuán)初審、網(wǎng)絡(luò)評審團(tuán)初評,現(xiàn)已確定2022年度下半年入圍獎名單。
3i獎-科學(xué)儀器行業(yè)優(yōu)秀新品,由儀器信息網(wǎng)發(fā)起,旨在將在中國儀器市場上推出的、創(chuàng)新性比較突出的國內(nèi)外儀器產(chǎn)品全面、公正、客觀地展現(xiàn)給廣大的國內(nèi)用戶。該評選活動自2006年起已經(jīng)成功舉辦了十六屆,本次是第十七屆。該活動自推出以來,受到越來越多的儀器用戶、國內(nèi)外儀器廠商以及相關(guān)媒體的關(guān)注和重視。

在技術(shù)評審委員會主席團(tuán)監(jiān)督下,經(jīng)儀器信息網(wǎng)“專業(yè)編輯團(tuán)”初審、”網(wǎng)絡(luò)評審團(tuán)“評審,產(chǎn)生了“科學(xué)儀器優(yōu)秀新品”評選活動2022年度入圍名單,獲“入圍獎”的儀器新品進(jìn)入到年度“提名獎”評審環(huán)節(jié)。
?2022年全年申報并審批通過的新品共649臺,下半年榮獲“入圍獎”的儀器新品135臺,其中光學(xué)儀器及設(shè)備共13臺,行業(yè)專用儀器3臺,測量儀器1臺。
光學(xué)儀器及設(shè)備、行業(yè)專用儀器、測量儀器入圍名單如下(排名不分先后)

透射電鏡氣體光熱原位系統(tǒng)

通過MEMS芯片和光纖引入的光源在原位樣品臺內(nèi)構(gòu)建光、熱復(fù)合多場自動控制及反饋測量系統(tǒng),結(jié)合使用EDS、EELS、SAED、HRTEM、STEM等多種不同模式,實(shí)現(xiàn)從納米甚至原子層面實(shí)時、動態(tài)監(jiān)測樣品在氣氛環(huán)境下隨光場、熱場變化產(chǎn)生的微觀結(jié)構(gòu)演化、反應(yīng)動力學(xué)、相變、元素價態(tài)、化學(xué)變化、微觀應(yīng)力以及表/界面處的原子級結(jié)構(gòu)和成分演化等關(guān)鍵信息。
典型應(yīng)用

我們的優(yōu)勢
1氣氛環(huán)境高分辨率
1.獨(dú)創(chuàng)的MEMS加工工藝,芯片視窗區(qū)域的氮化硅膜厚度最薄可達(dá)10nm。
2.芯片封裝采用鍵合內(nèi)封以及環(huán)氧樹脂外封雙保險方式,使芯片間的夾層最薄僅約100~200nm,超薄夾層大幅減少對電子束的干擾,可清晰觀察樣品的原子排列情況,氣相環(huán)境可達(dá)到皮米級分辨率。
2高安全性
1.采用納流控專利技術(shù),通過壓電微控系統(tǒng)進(jìn)行流體微分控制,實(shí)現(xiàn)納升級微量流體輸送,控制精度為5nL/s,每次氣體推送過程中,原位納流控系統(tǒng)及樣品桿中冗余的氣體量僅有微升級別,有效保證電鏡安全。
2.采用高分子膜面接觸密封技術(shù),相比于o圈密封,增大了密封接觸面積,有效減小滲漏風(fēng)險。
3.采用超高溫鍍膜技術(shù),芯片視窗區(qū)域的氮化硅膜具有耐高溫低應(yīng)力耐壓耐腐蝕耐輻照等優(yōu)點(diǎn)。
3優(yōu)異的熱學(xué)性能
1.高精密紅外測溫校正,微米級高分辨熱場測量及校準(zhǔn),確保溫度的準(zhǔn)確性。
2.兩電極的超高頻控溫方式,排除導(dǎo)線和接觸電阻的影響,測量溫度和電學(xué)參數(shù)更精確。
3.采用高穩(wěn)定性貴金屬加熱絲(非陶瓷材料),既是熱導(dǎo)材料又是熱敏材料,其電阻與溫度有良好的線性關(guān)系,加熱區(qū)覆蓋整個觀測區(qū)域,升溫降溫速度快,熱場穩(wěn)定且均勻,穩(wěn)定狀態(tài)下溫度波動≤±0.01℃。
4.采用閉合回路高頻動態(tài)控制和反饋環(huán)境溫度的控溫方式,高頻反饋控制消除誤差,控溫精度±0.01 ℃。
5.獨(dú)特多級復(fù)合加熱MEMS芯片設(shè)計,控制加熱過程熱擴(kuò)散,極大抑制升溫過程的熱漂移,確保實(shí)驗(yàn)的高效觀察。
4優(yōu)異的光學(xué)性能
1.一體式激光光源,集成紫外-可見-紅外不同波段并輸出特定波長激光,光信號強(qiáng)(最大強(qiáng)度不低于150mW/cm2),可快速連續(xù)調(diào)節(jié)光源強(qiáng)度,響應(yīng)時間短(毫秒級)。
2.特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計,超低光損耗,能量穩(wěn)定均勻。
5智能化軟件和自動化設(shè)備
1.人機(jī)分離,遠(yuǎn)程控制氣體條件,全程自動記錄實(shí)驗(yàn)細(xì)節(jié)數(shù)據(jù),便于總結(jié)與回顧。
2.自定義程序升溫曲線。可定義10步以上升溫程序、恒溫時間等,同時可手動控制目標(biāo)溫度及時間,在程序升溫過程中發(fā)現(xiàn)需要變溫及恒溫,可即時調(diào)整實(shí)驗(yàn)方案,提升實(shí)驗(yàn)效率。
3.內(nèi)置絕對溫標(biāo)校準(zhǔn)程序,每塊芯片每次控溫都能根據(jù)電阻值變化,重新進(jìn)行曲線擬合和校正,確保測量溫度精確性,保證高溫實(shí)驗(yàn)的重現(xiàn)性及可靠性。
4.全流程配備精密自動化設(shè)備,協(xié)助人工操作,提高實(shí)驗(yàn)效率。
產(chǎn)品組成

a.氣體光熱原位樣品桿
b.MEMS氣體加熱芯片
c.溫度控制程序
d.溫度控制器
e.高真空檢漏儀
f.原位氣氛納流控安全管理系統(tǒng)
g.高精度芯片組裝儀
h.光源工作站
i.附件包