氦質(zhì)譜檢漏檢測(cè)儀一般有兩種檢漏檢測(cè)方法，一種是常規(guī)檢漏檢測(cè)，另一種是逆擴(kuò)散檢漏檢測(cè)。逆擴(kuò)散原理如圖所示。逆擴(kuò)散檢漏檢測(cè)是將被檢測(cè)部件連接到分子泵排氣口的一端，檢漏的氦通過(guò)分子泵排氣口逆泵排氣方向進(jìn)入安裝在泵進(jìn)氣口端質(zhì)譜管。

該檢漏測(cè)量方法是基于分子泵對(duì)不同質(zhì)量氣體的不同壓縮比（分子泵排氣口氣體壓力與進(jìn)氣口壓力比），即利用不同氣體的反向擴(kuò)散水平或多或少設(shè)計(jì)的。

逆擴(kuò)散測(cè)漏允許被檢件內(nèi)壓高，SFJ-1000001/241型氦質(zhì)譜檢漏儀Pa(一般常規(guī)檢漏儀為00.05Pa以下)適用于檢測(cè)大型器皿或有大檢漏的器件，也適用于吸槍檢測(cè)檢漏。逆擴(kuò)散還具有質(zhì)譜管不易污染、燈絲壽命長(zhǎng)的優(yōu)點(diǎn)。

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