為生長制備優(yōu)異性能的低維材料，采用真空化學(xué)氣相輸制備（又稱CVT法，化學(xué)反應(yīng)助升華法）是目前廣泛采用的方式，該方法原理是利用化學(xué)可逆反應(yīng)在不同溫度下反應(yīng)朝不同方向進(jìn)行而生長晶體的方法 ，

具有設(shè)備簡單、成本低效率高、生長溫度低和晶體質(zhì)量高的突出特點。

（上圖分別為?真空封管機 和 高真空分子泵真空機組）

（上圖是CVT高真空封管系統(tǒng)布置圖）

SHIWEI是維-?CVT高真空封管系統(tǒng)，主要包括單工位高真空封管機、分子泵真空機組、高溫熔融模塊等部分組成，該系統(tǒng)可以滿足塊體、粉末、薄膜等樣品真空（保護(hù)氣氛下）生長制備、真空還原，廣泛適用于二維材料（0D/1D/2D），熱電材料，能源材料，光電材料，半導(dǎo)體材料，金屬材料，納米材料，磁性材料，超導(dǎo)材料等材料器件生長制備，已經(jīng)被全球眾多高校、科研院所和企業(yè)使用，特別是材料實驗，科學(xué)研究和先進(jìn)材料研發(fā)等領(lǐng)域，成為眾多先進(jìn)材料實驗研發(fā)的必備專用儀器。

（上圖分別為 熱電材料生產(chǎn)制備工藝流程 和 1T相T M D材料樣本）

真空封管系統(tǒng)主要適用于對材料樣品在石英試管中真空環(huán)境狀態(tài)下（或保護(hù)氣氛下）完成封管；在試管預(yù)抽真空后，試管管壁材料經(jīng)高溫熔融并在外部大氣壓的作用下和管內(nèi)石英柱體融接在一起而形成真空密封。該系統(tǒng)可密封的試管材料可以是普通的硼酸鹽玻璃也可以是石英玻璃，設(shè)備可通過變換不同的卡套連接各種外徑的試管。

試管在真空密封過程中的旋轉(zhuǎn)速度可以在一定的范圍內(nèi)進(jìn)行調(diào)節(jié)，方便配合不同管徑試管和焊槍的使用。封管機自帶放氣和充氣裝置。高溫管式爐（可選配置）：控制系統(tǒng)國際領(lǐng)先，具有安全可靠、操作簡單、控溫精度高（PID控制）、保溫效果好、溫度范圍大、爐膛溫度均勻性高、溫區(qū)多、可通氣氛抽真空(選配)等特點，主要用于高性能材料制備，材料的預(yù)燒、燒結(jié)、鍍膜、高溫?zé)峤獾蜏爻练e（CVD）、CVT工藝等?？蓱?yīng)用于高等院校、科研院所、工礦企業(yè)等實驗和小批量生產(chǎn)之用。

（上圖分別為? CVT生長材料和??CVT合成生長MoS2）

CVT真空封管系統(tǒng)主要技術(shù)指標(biāo)

1.CVT高真空封管機系統(tǒng)由高真空封管機、高真空分子泵真空機組、專用水焊機等部分組成，也可以與高溫管式爐組成CVT化學(xué)氣相輸運系統(tǒng)以及CVD化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)使用。

2.封管機真空漏率：2x10-9Pa·m3/S(經(jīng)氦質(zhì)譜檢漏);

3.可密封石英管管徑/長度：Φ10、Φ15、Φ20mm等/150-450mm;

4.可密封石英管壁厚：1-2mm

5.封管狀態(tài)：豎直/水平

6.可密封對象：固體/液體/氣體，包括塊體、薄膜、粉末、液體和器件等；

7.旋轉(zhuǎn)速度：0-20r/min可調(diào);

8.真空接口：KF16/KF25

9.充氣接口:6-8mm;

10.電源: 220V/380V±5% ，50Hz;

11.專用水焊機產(chǎn)氣量：600L/H；

12.專用水焊機火焰最高溫度：約2800℃；

13.封管機真空測量：電阻真空計/全量程真空計

14.充氣壓力測量：壓力表

15.選件：真空油泵/干泵/分子泵真空機組；材料樣品轉(zhuǎn)移裝置（與凈化手套箱配合使用）；箱式爐/管式爐；電火花真空檢測儀；應(yīng)力測試儀；真空管接頭；液氮冷阱；機臺；高純石英管；

設(shè)備特點及優(yōu)勢

先進(jìn)性

系統(tǒng)采用自動化真空封管，滿足多種材料器件的快速生長制備及材料樣品工藝處理；“二合一”功能--CVT化學(xué)氣相輸運系統(tǒng)+CVD化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)。可與上下游生長合成、器件構(gòu)筑制備和表征測量設(shè)備儀器無縫兼容擴展。

（SHIWEI是維自主發(fā)明專利，專利號：202210373611.5）

實用性

系統(tǒng)設(shè)備原理設(shè)計先進(jìn)，結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小，可以放置于實驗桌面或通風(fēng)櫥內(nèi)，目前已被國內(nèi)外高校、科研院所和企業(yè)廣泛使用，應(yīng)用于各種材料生產(chǎn)合成和器件制備。

方便性

系統(tǒng)采用集成模塊化設(shè)計生產(chǎn)，組裝安裝調(diào)試簡單，易于操作方便使用。

兼容性

系統(tǒng)可獨立使用并開放兼容，可無縫銜接匹配封管機、凈化手套箱，箱式爐/管式爐，鍍膜儀，二維材料轉(zhuǎn)移平臺等設(shè)備。

安全性

滿足真空行業(yè)關(guān)于真空系統(tǒng)設(shè)備研發(fā)，生產(chǎn)，檢驗，操作使用等相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。

配有安全閥、靜電防護(hù)及電器線路防爆設(shè)計，滿足電氣工業(yè)安全標(biāo)準(zhǔn)，杜絕發(fā)生安全事故。

設(shè)備安裝條件

供電要求

設(shè)備供電總功率≤3KW，220V，50Hz，單相三線制（一火一零一地）；

插座距離設(shè)備尺寸≤2m；

供氣要求（根據(jù)需要選用）

氣瓶經(jīng)減壓之后的氣體，氮氣/氬氣/氦氣等安全保護(hù)性氣體；氣壓不超過-0.6bar

尺寸（約）

1200*700*1300mm

環(huán)境要求

環(huán)境溫度：5～40℃；

環(huán)境濕度：＜85%R.H；

室內(nèi)無大量塵埃，無腐蝕性、五毒，無易燃易爆氣體；

禁止在密閉不通風(fēng)空間內(nèi)操作使用本系統(tǒng)。

其他要求按照系統(tǒng)操作說明。

技術(shù)及售后服務(wù)

售后服務(wù)

產(chǎn)品質(zhì)保期為一年；可提供上門培訓(xùn)，技術(shù)指導(dǎo)操作等售后服務(wù)。

在質(zhì)保期內(nèi)供方將免費維修和更換因設(shè)備質(zhì)量原因造成的零部件損壞；

在質(zhì)保期外設(shè)備零部件的損壞，提供的配件只收成本費；

交貨時提供全套技術(shù)文檔和資料。