? ?憑借扎實(shí)可靠的技術(shù)實(shí)力，派克T 系列無(wú)鐵芯直線電機(jī)通過(guò)高精密的運(yùn)動(dòng)控制解決方案，無(wú)懼半導(dǎo)體行業(yè)晶圓劃片機(jī)、離子注入設(shè)備等應(yīng)用場(chǎng)景挑戰(zhàn)，并交出一份令人滿意的答卷。

晶圓劃片機(jī)是半導(dǎo)體封裝環(huán)節(jié)的重要設(shè)備，負(fù)責(zé)將含有wafer晶圓分割成一個(gè)個(gè)芯片，因此對(duì)切割精度要求相當(dāng)高，其切割質(zhì)量與效率將直接影響芯片的封裝質(zhì)量和生產(chǎn)成本。而離子注入設(shè)備則是離子摻雜工藝線的關(guān)鍵設(shè)備，整機(jī)可靠性、生產(chǎn)效率、晶圓注入劑量均勻性和重復(fù)性等性能都與直線電機(jī)的控制技術(shù)密切相關(guān)。

無(wú)論是晶圓劃片機(jī)，還是離子注入設(shè)備，它們都需要極高的加速以及減速，并且在高速運(yùn)動(dòng)過(guò)程中需要保持極小的速度波動(dòng)。同時(shí)，半導(dǎo)體生產(chǎn)對(duì)于環(huán)境溫度非常敏感，微小的溫度變化就可能導(dǎo)致精度變差。因此，控制直線電機(jī)的溫升也是非常重要的需求。

針對(duì)以上挑戰(zhàn)，派克漢尼汾推出 T 系列無(wú)鐵芯直線電機(jī)，在有效控制溫升的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)極高的加減速，并且能夠在高速運(yùn)動(dòng)下帶來(lái)極低的速度波動(dòng)。

系列無(wú)鐵芯直線電機(jī)具有以下顯著優(yōu)勢(shì)：

結(jié)構(gòu)緊湊：

高推力密度，安裝尺寸小，可大幅提升設(shè)備有效空間

重量輕：

無(wú)鐵芯意味著更高的加速度及減速度，更高的機(jī)械帶寬

溫升低：

采用工字型結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及疊放的繞組設(shè)計(jì)，改進(jìn)散熱性能，有效提升設(shè)備重復(fù)精度

安裝簡(jiǎn)單：

固定氣隙易于對(duì)齊及安裝

對(duì)于那些對(duì)溫升控制要求更為嚴(yán)苛的應(yīng)用場(chǎng)景，派克漢尼汾推薦采用水冷型以及風(fēng)冷型的T系列無(wú)鐵芯直線電機(jī)，以便幫助客戶更好地控制溫升。同時(shí)，根據(jù)客戶需求，還可以提供適用于真空環(huán)境下的直線電機(jī)。

T 系列無(wú)鐵芯直線電機(jī)在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用已經(jīng)十分成熟，能夠有效解決困擾客戶的溫升干擾問(wèn)題。目前，T系列已經(jīng)在國(guó)內(nèi)實(shí)現(xiàn)本地化生產(chǎn)，這不僅提升了產(chǎn)品的定制化能力，還能有效縮短供貨周期，更好地服務(wù)客戶。