氦質(zhì)譜檢漏儀是一種以氦為示漏氣體的質(zhì)譜分析儀器。將氦氣噴灑在與氣體分析儀相連的被檢容器上。如果容器有漏孔，分析儀會(huì)做出反應(yīng)，從而知道漏孔的位置和漏氣的大小。氦質(zhì)譜檢漏儀內(nèi)部一般有標(biāo)準(zhǔn)漏孔，可拆卸校正。如果標(biāo)準(zhǔn)漏孔不能獨(dú)立校正，可以考慮通過(guò)氦質(zhì)譜檢漏儀直接校正漏率。以下是小編總結(jié)氦質(zhì)譜檢漏率的校準(zhǔn)方法。

氦質(zhì)譜檢漏儀泄漏率校準(zhǔn)方法

一、環(huán)境條件

校正環(huán)境溫度為(23)±5)℃，校正過(guò)程中室溫變化不超過(guò)±1℃，環(huán)境相對(duì)濕度不超過(guò)80%。校正設(shè)備周圍應(yīng)無(wú)明顯的溫差、氣流、強(qiáng)磁場(chǎng)等外部影響。環(huán)境溫度最好保持在23%℃周邊地區(qū)，由于標(biāo)準(zhǔn)漏孔出廠標(biāo)稱漏率對(duì)應(yīng)的環(huán)境溫度一般為23℃。

二、選擇標(biāo)準(zhǔn)器

標(biāo)準(zhǔn)器為滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔，漏率標(biāo)稱值為(10-6~10-10)Pa·m3/s，不確定性不超過(guò)10%。精密玻璃溫度計(jì)，檢測(cè)范圍(0~50)℃，不確定度U=0.04℃，k=2。

三、校正方法

(1)漏率校正

①校正系統(tǒng)的組成

校正系統(tǒng)由標(biāo)準(zhǔn)漏孔、截止閥和氦質(zhì)譜檢漏儀組成。

②示值誤差

通電預(yù)熱，氦質(zhì)譜檢漏儀啟動(dòng)后，選擇標(biāo)準(zhǔn)漏孔校正氦質(zhì)譜檢漏儀，校正后的標(biāo)準(zhǔn)漏孔連接到氦質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng)，運(yùn)行氦質(zhì)譜檢漏儀。泄漏率示值穩(wěn)定后，可讀取標(biāo)準(zhǔn)泄漏率的氦質(zhì)譜檢漏儀示值，三次測(cè)量同一標(biāo)準(zhǔn)泄漏，計(jì)算氦質(zhì)譜檢漏儀示值平均值，得到標(biāo)準(zhǔn)泄漏率與氦質(zhì)譜檢漏儀示值平均值的示值誤差。完成后，將其他等級(jí)的標(biāo)準(zhǔn)泄漏連接到氦質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng)進(jìn)行測(cè)試，以獲得每個(gè)等級(jí)下氦質(zhì)譜檢漏儀泄漏率的示值誤差。

③重復(fù)性

測(cè)量重復(fù)性用試驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)偏差表示，校準(zhǔn)方法用極差法表示重復(fù)性。在示值誤差測(cè)量中，每個(gè)標(biāo)準(zhǔn)漏孔用氦質(zhì)譜檢漏儀反復(fù)測(cè)量三次，可用公式計(jì)算氦質(zhì)譜檢漏儀在泄漏率下的重復(fù)性。

氦質(zhì)譜檢漏儀測(cè)量數(shù)據(jù)處理

(1)漏率示值誤差

①溫度調(diào)節(jié)漏率

標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率易受溫度變化影響，溫度對(duì)標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的影響一般為3%/℃，因此，如果實(shí)際環(huán)境溫度與標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中的溫度不一致，則需要將標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中的漏孔率和標(biāo)準(zhǔn)漏孔率的氦質(zhì)譜檢漏儀示值調(diào)整到同一環(huán)境溫度，并在試驗(yàn)結(jié)果中表明，調(diào)整方法如下：

方法一：將標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中的漏率調(diào)整到實(shí)際環(huán)境溫度，計(jì)算標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中的漏率加或降低對(duì)標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的影響系數(shù)；

方法二:將標(biāo)準(zhǔn)漏孔率氦質(zhì)譜檢漏儀的平均值調(diào)整到標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中的環(huán)境溫度下，用標(biāo)準(zhǔn)漏孔率氦質(zhì)譜檢漏儀的平均值加或降低溫度對(duì)標(biāo)準(zhǔn)漏孔率的影響系數(shù)。

②漏率示值誤差計(jì)算方法：

式中:Qx—標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率值(Pa·m3/s)；

Qb—氦質(zhì)譜檢漏儀泄漏均值(Pa·m3/s)；

ΔQ—氦質(zhì)譜檢漏儀泄漏率示值誤差(%)。

(2)漏率重復(fù)計(jì)算方法

S=Qmax-Qmin

式中:S—漏率重復(fù)性(%)；

Qmax—氦質(zhì)譜檢漏儀最高值(Pa·m3/s)；

Qmin—氦質(zhì)譜檢漏儀最小值(Pa·m3/s)；

C—極差指數(shù)，當(dāng)測(cè)量頻率n為3時(shí)，C=1.64；

Qx—標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率(Pa·m3/s)。

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