書籍：《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》

文章：光學(xué)微機(jī)電系統(tǒng)

編號：JFKJ-21-352

作者：炬豐科技

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設(shè)計

.兩級 結(jié)構(gòu)

.懸浮在襯底上的上氮化硅板提供了高度的 隔熱

.薄電阻元件位于氮化硅上，具有較大的電阻溫度系數(shù) (TCR)

.該填充因子 – 敏感元素覆蓋的區(qū)域作為整個像素區(qū)域的一部分 ?

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.必須接近 團(tuán)結(jié)

.氮化硅板和它正下方的薄反射金屬形成一個 四分之一波諧振腔 增加紅外線 吸收

光柵光閥顯示

.賽普拉斯半導(dǎo)體硅光機(jī)

.依靠懸掛在基板上的緊密排列的平行反射帶行

.相位光柵，將入射光衍射成更高階

.的角度 衍射 取決于 波長 和音高 - 或 周期性

.絲帶的

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數(shù)字 M × N 光開關(guān)

.光開關(guān)將入射光信號重定向到許多輸出光纖之一

.通過改變交叉光纖系統(tǒng)中的光路，光開關(guān)陣列允許在數(shù)據(jù)通信中快速重新配置光網(wǎng)絡(luò)

.M × N 開關(guān)是具有 M 個輸入和 N 個輸出光纖的二維陣列

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自由空間微型光學(xué)平臺

.采用微加工技術(shù)，可將光學(xué)系統(tǒng)小型化并批量制造在硅基板上

.光學(xué)元件可以在平移或旋轉(zhuǎn)平臺上整體制造

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衍射微透鏡

.焦距可以通過光刻精確定義

.可以定義具有廣泛數(shù)值孔徑 (F/0.3–F/5) 的微透鏡

.可以制造直徑小至幾十微米的微透鏡

.厚度約為光波長

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折射微透鏡

.焦距與光波長無關(guān)（除了由于透鏡材料的色散而產(chǎn)生的弱依賴性）

.不受衍射損耗的影響

.更容易制造 (i) 沒有嚴(yán)格的臨界尺寸控制的快速折射微透鏡和 (ii) 低成本