在做X 射線光電子能譜(XPS)測(cè)試時(shí)，科學(xué)指南針檢測(cè)平臺(tái)工作人員在與很多同學(xué)溝通中了解到，好多同學(xué)僅僅是通過(guò)文獻(xiàn)或者師兄師姐的推薦對(duì)XPS測(cè)試有了解，但是對(duì)于其原理還屬于小白階段，針對(duì)此，科學(xué)指南針檢測(cè)平臺(tái)團(tuán)隊(duì)組織相關(guān)同事對(duì)網(wǎng)上海量知識(shí)進(jìn)行整理，希望可以幫助到科研圈的伙伴們；

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Q：所測(cè)窄譜元素，含量比為啥跟預(yù)期不符？

1.樣品表面被污染

2.樣品分布不均勻

3.該元素不分布在樣品表面，即不在XPS所測(cè)微區(qū)范圍內(nèi)

4.XPS是半定量分析，和元素的實(shí)際含量會(huì)有出入

PS：XPS是一種典型的表面分析手段，用于定性及半定量分析，測(cè)試得到的僅是樣品表面幾百甚至幾 十um大小，幾個(gè)nm深度的樣品信息，不代表樣品整體性質(zhì)

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Q：樣品中，某元素窄譜曲線不光滑，峰刺較多，或沒(méi)有測(cè)出該元素？

1.元素含量比較低

2.樣品分布不均勻，所測(cè)試的光斑范圍內(nèi)，該元素含量較少

3.該元素不分布在樣品表面，即不在XPS所測(cè)微區(qū)范圍內(nèi)

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Q：分峰后，某元素結(jié)合能位置不對(duì)？

1.確認(rèn)下數(shù)據(jù)是否校正（我們給的數(shù)據(jù)，一般是沒(méi)有校正的數(shù)據(jù)）

2.分析下化學(xué)環(huán)境對(duì)該元素峰本身造成的影響，某些化學(xué)環(huán)境會(huì)導(dǎo)致峰有正常的偏移

3.確認(rèn)下分峰是否正確

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Q：元素的結(jié)合能測(cè)試范圍和之前的不同，無(wú)法對(duì)比？

如果該元素的峰是完整的，可以自行截取至相同結(jié)合能范圍進(jìn)行對(duì)比，如果不影響分析也可以不進(jìn)行截取

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Q：分峰后，對(duì)應(yīng)價(jià)態(tài)的峰沒(méi)有？

1，需要分峰后進(jìn)行分析，并需確認(rèn)分峰是否正確

2，全譜的能量很高，如果測(cè)不出來(lái)，可能是污染碳很高，或者測(cè)試深度范圍內(nèi)的含量太少（整體該價(jià) 態(tài)比較高，但是表面很少），一般是后者原因居多

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Q：所測(cè)2個(gè)元素的窄譜峰有重合，無(wú)法分峰？

可嘗試測(cè)其中某一元素其它軌道峰，來(lái)避免與另一元素窄譜峰重合

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Q：數(shù)據(jù)中C、N、O元素含量比實(shí)際樣品的高，或沒(méi)有C、N、O但是測(cè)出來(lái)了？

1.樣品吸附了空氣中的污染物導(dǎo)致，在數(shù)據(jù)處理時(shí)，把非樣品所含有的污染物的峰先分出來(lái)，剔除掉 ，再重新計(jì)算含量；

2.如果對(duì)這個(gè)要求較嚴(yán)，建議后期樣品制備后抽真空密封保存，測(cè)試時(shí)選擇手套箱制樣并測(cè)試；如果 是非粉體樣品，可選擇刻蝕后測(cè)試

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Q：樣品不含有這個(gè)元素，為什么全譜測(cè)出這個(gè)元素了（除CNO）？

1.樣品理論上應(yīng)該不含有，但是樣品在處理過(guò)程中是有引入該元素的成分，在后續(xù)的處理過(guò)程沒(méi)有完 全處理干凈

2.待測(cè)試樣品是在某種基底上測(cè)試的，但待測(cè)試樣品量較少，測(cè)試到了基底

3.被同一批次的其他樣品，或者有易揮發(fā)組分（如S、F），或者進(jìn)行刻蝕后，污染了該樣品表面

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Q：某元素含量很高大概 5%，測(cè)出來(lái)信噪比很差，而有的元素含量很低0.5%，測(cè)出來(lái)信噪比反而很好？

1.不同元素的主峰的靈敏度因子和檢測(cè)限不一樣；

2.樣品分布不均勻

3.該元素不分布在樣品表面，即不在XPS所測(cè)微區(qū)范圍內(nèi)

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以上如對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果有疑問(wèn)，請(qǐng)盡快聯(lián)系科學(xué)指南針工作人員或撥打 400-831-0631 ，我們會(huì)盡快給您確認(rèn)并解決，由于我們工作的失誤給您帶來(lái)的不便，我們深感抱歉！

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