書籍：《炬豐科技-半導體工藝》

文章：MEMS簡介

編號：JFKJ-21-139

作者：炬豐科技

摘要

? MEMS被認為是21世紀最有前途的技術之一，通過結合基于硅的微電子學和微加工技術，MEMS有可能徹底改變工業(yè)和消費產品。?它的技術和基于微系統(tǒng)的設備有可能極大地影響我們的生活和我們的生活方式。 ?

???本文介紹了微機電系統(tǒng)的發(fā)展概況，重點介紹了微機電系統(tǒng)的商業(yè)應用和器件制造方法。?它還描述了MEMS傳感器和執(zhí)行器的范圍，MEMS設備可以感知或處理的現象，并概述了該行業(yè)面臨的主要挑戰(zhàn)。 ?

介紹 ?

???本報告涉及微電子機械系統(tǒng)或MEMS的新興領域。?MEMS是一種工藝技術，用于創(chuàng)建結合機械和電子元件的微型集成設備或系統(tǒng)。?它們使用集成電路(IC)批量處理技術制造，尺寸從幾微米到幾毫米不等。?這些設備具有在微觀尺度上感知、控制和驅動的能力，并在宏觀尺度上產生影響。?MEMS的跨學科性質利用了設計、工程和制造的專業(yè)知識，這些專業(yè)知識來自廣泛而多樣的技術領域，包括集成電路文章全部詳情：壹叁叁伍捌零陸肆叁叁叁制造技術、機械工程、材料科學、電氣工程、化學和化學工程，以及流體工程、光學、 儀器和包裝。 MEMS的復雜性也體現在包含MEMS器件的廣泛市場和應用中。 MEMS廣泛應用于汽車、醫(yī)療、電子、通信和國防等領域。 目前的MEMS設備包括用于安全氣囊傳感器的加速度計、噴墨打印機頭、計算機磁盤驅動器讀寫頭、投影顯示芯片、血壓傳感器、光學開關、微閥、生物傳感器和許多其他產品，這些產品都是大批量生產和運輸的。 ?

???MEMS被認為是21世紀最有前途的技術之一，通過將基于硅的微電子學與微加工技術相結合，MEMS具有徹底改變工業(yè)和消費產品的潛力。?它的技術和基于微系統(tǒng)的設備有潛力戲劇性地影響我們所有的生活和我們的生活方式。?如果說半導體微細制造被視為第一次微細制造革命，那么MEMS則是第二次革命。 ?

???本報告介紹了MEMS領域，分為四個主要部分。?在第一部分，讀者介紹了MEMS，它的定義，歷史，當前和潛在的應用，以及MEMS市場的現狀和有關小型化的問題。?第二部分介紹了MEMS的基本制作方法，包括光刻、大塊微加工、表面微加工和高長寬比微加工;?本文還介紹了MEMS器件的裝配、系統(tǒng)集成和封裝。?第三部分回顧了MEMS傳感器和執(zhí)行器的范圍，MEMS器件可以感知或作用的現象，并簡要描述了基本的傳感和執(zhí)行機制。?最后一節(jié)闡述了MEMS行業(yè)在實現MEMS商業(yè)化和成功方面所面臨的挑戰(zhàn)。

?????本文講述了微機電系統(tǒng)，MEMS制造方法，材料微加工等問題。

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