QFL系列三軸高精度直線臺

產(chǎn)品特點

<< 直驅(qū)式結(jié)構(gòu)

<< 結(jié)構(gòu)緊湊、精度高

<< Z軸大行程平升結(jié)構(gòu)

<<?光柵尺閉環(huán)反饋

<< 優(yōu)化后的線纜管理系統(tǒng)

<< 根據(jù)需求可定制

背景介紹

? ? ? ? XY軸為氣浮直驅(qū)直線臺，Z軸為精密直線線軌平升臺，緊湊的三軸結(jié)構(gòu)，廣泛應(yīng)用于精密加工，測試測量及半導(dǎo)體行業(yè)。由于非接觸式移動，精度高和結(jié)構(gòu)緊湊是行業(yè)內(nèi)的理想選擇。

結(jié)構(gòu)優(yōu)勢

? ? ?? XY軸采用非接觸式氣浮導(dǎo)軌、直線電機(jī)驅(qū)動和光柵尺反饋裝置組成整個系統(tǒng)，確保免維護(hù)運(yùn)行。因為運(yùn)動元件間沒有機(jī)械接觸，隨著時間的推移，不會出現(xiàn)磨損或性能下降，使用壽命幾乎是無限的，氣浮導(dǎo)軌不需要潤滑，只需要清潔及干燥的氣體，是用戶應(yīng)用的理想選擇。

? ? ?? RBSV系列直驅(qū)結(jié)構(gòu)，直接移動負(fù)載，不是蝸輪蝸桿結(jié)構(gòu)傳動，在一個長行程的移動范圍，保持盡可能短的高度，優(yōu)化了Abbe誤差，有助于提高整體精度性能。

? ? ?? 采用用抗蠕變交叉滾柱導(dǎo)軌垂直導(dǎo)向，為提升直線度、Pitch/Roll/Yaw指標(biāo)提出了創(chuàng)新解決方案

線纜管理

? ? ?? 精心優(yōu)化管線彎曲半徑，防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮臺的性能，使用高質(zhì)量的電纜，以確保無故障操作。

定制化

? ? ?? XY軸可定制大理石或碳化硅材質(zhì)的氣浮導(dǎo)軌，提升精度性能。行程可接受定制。

?

規(guī)格指標(biāo)

?

外形尺寸