QFL系列三軸高精度直線臺

產品特點

<< 直驅式結構

<< 結構緊湊、精度高

<< Z軸大行程平升結構

<<?光柵尺閉環(huán)反饋

<< 優(yōu)化后的線纜管理系統(tǒng)

<< 根據(jù)需求可定制

背景介紹

? ? ? ? XY軸為氣浮直驅直線臺，Z軸為精密直線線軌平升臺，緊湊的三軸結構，廣泛應用于精密加工，測試測量及半導體行業(yè)。由于非接觸式移動，精度高和結構緊湊是行業(yè)內的理想選擇。

結構優(yōu)勢

? ? ?? XY軸采用非接觸式氣浮導軌、直線電機驅動和光柵尺反饋裝置組成整個系統(tǒng)，確保免維護運行。因為運動元件間沒有機械接觸，隨著時間的推移，不會出現(xiàn)磨損或性能下降，使用壽命幾乎是無限的，氣浮導軌不需要潤滑，只需要清潔及干燥的氣體，是用戶應用的理想選擇。

? ? ?? RBSV系列直驅結構，直接移動負載，不是蝸輪蝸桿結構傳動，在一個長行程的移動范圍，保持盡可能短的高度，優(yōu)化了Abbe誤差，有助于提高整體精度性能。

? ? ?? 采用用抗蠕變交叉滾柱導軌垂直導向，為提升直線度、Pitch/Roll/Yaw指標提出了創(chuàng)新解決方案

線纜管理

? ? ?? 精心優(yōu)化管線彎曲半徑，防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮臺的性能，使用高質量的電纜，以確保無故障操作。

定制化

? ? ?? XY軸可定制大理石或碳化硅材質的氣浮導軌，提升精度性能。行程可接受定制。

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規(guī)格指標

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外形尺寸