在做原子力顯微鏡AFM測試時，科學(xué)指南針檢測平臺工作人員在與很多同學(xué)溝通中了解到，好多同學(xué)對AFM測試不太了解，針對此，科學(xué)指南針檢測平臺團隊組織相關(guān)同事對網(wǎng)上海量知識進行整理，希望可以幫助到科研圈的伙伴們；

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AFM可以對樣品表面形態(tài)、納米結(jié)構(gòu)、鏈構(gòu)象等方面進行研究，獲得納米顆粒尺寸，孔徑，材料表面粗糙度，材料表面缺陷等信息，同時還能做表面結(jié)構(gòu)形貌跟蹤（隨時間，溫度等條件變化）。也可對樣品的形貌進行豐富的三維模擬顯示，使圖像更適合于人的直觀視覺。圖1表征的是納米顆粒的二維幾何形貌圖和三維高度形貌圖。

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圖1 納米顆粒的2D主形貌（a）和3D主形貌（b）

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AFM的高度像可用于樣品表面微區(qū)高分辨的粗糙度測量，應(yīng)用合適的數(shù)據(jù)分析軟件能得到測定區(qū)域內(nèi)粗糙度各表征參數(shù)的統(tǒng)計結(jié)果，一般儀器供應(yīng)商會提供配套的數(shù)據(jù)處理軟件。表面粗糙度的定量常用美國機械工程協(xié)會的ASME B46.1粗糙度分析標(biāo)準(zhǔn)。表面平均粗糙度Ra，最大高度粗糙度Rmax和均方根粗糙度Rq等是常用的表征粗糙度的參數(shù)，其含義分別是：在所考察區(qū)域內(nèi)相對中央平面測的高度偏差絕對值的算術(shù)平均值（Ra），在橫截面輪廓曲線圖中在輪廓長度范圍內(nèi)相對中心線最高點與最低點高度的差值（Rmax），Rq是指在取樣長度內(nèi)，輪廓偏離平均線的均方根值，它是對應(yīng)于Ra的均方根參數(shù)。計算機根據(jù)高度數(shù)據(jù)能自動計算出輪廓算術(shù)平均偏差Ra，最大高度粗糙度Rmax和均方根粗糙度Rq。

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