微流控芯片，又稱芯片實驗室（Lab-on-chip）或微全分析系統(tǒng)（micro-Total Analytical System），是一種以在微米尺度空間對流體進行操控為主要特征的科學技術，也是微流控的核心部件，主要用于化學、流體力學、材料科學和生物醫(yī)學等學科或交叉而成的創(chuàng)新型研究。

微流控芯片的重要意義在于，借助仿生結構以及其他材料，將傳統(tǒng)大型實驗室”微縮“在一塊平方厘米量級的芯片上，開展包括采樣、稀釋、加試劑、反應、分離、檢測等功能，即實驗室的微型化和集成化，不僅攜帶方便，還可重復使用，大大縮短了時間。如通過微流控芯片模擬組織和器官水平的生理功能，可以彌補傳統(tǒng)細胞組織培養(yǎng)、動物實驗或樣本處理的周期長、耗費高等不足，還兼具了動態(tài)實時監(jiān)控和觀察的優(yōu)勢，已經成為生物學研究過程中不可或缺的重要工具，實現(xiàn)試劑耗材的最大利用效率。

目前，常用于微流控芯片制作的材料有：硅片、石英、玻璃、高分子聚合物（包括PMMA、PC、COC、PDMS、Flxdym、PP、PS、PET……）等，其中高分子聚合物由于成本低、易成型等優(yōu)勢應用范圍較廣。將高分子聚合物制成微流控芯片的技術主要有基于模具的熱壓法、模塑法、注塑法和直接加工的激光刻蝕法等。由于微流控芯片通道尺寸在數(shù)十微米至數(shù)百左右，對精密機加工系統(tǒng)的要求較高。熱壓法、模塑法、注塑法主要用于工業(yè)大批量生產，缺點是高精度模具制作周期長，且需常更換，整體成本高。

激光刻蝕是非接觸式、高效率的加工方式，是利用高能量密度激光束在聚合物上形成結構，加工效率高，光斑直徑小，可以實現(xiàn)微尺寸的通道刻蝕，且可以通過軟件實時修改設計圖和參數(shù)，刻蝕線路更加靈活多樣，特別滿足科研、實驗室等機構院所的實驗方案迭代快，響應速度快的需求。如今，常用的激光微加工+熱鍵合法制備集成有濾膜的PMMA芯片、激光微加工+雙面膠粘合法制備COC芯片與多層柔性PET芯片、激光微加工法在PMMA基材上加工十字通道+鍵合后密封通道與通孔陣列結構等。

納飛光電355nm紫外納秒激光器，波長短，材料吸收率高，單光子能量高，能量集中，脈寬窄（25ns），加工聚合物材料時產生的熱作用程度低，熱影響區(qū)小，可視為”冷“加工，可減少熱能對聚合物材料的損傷，有效減少局部微裂痕和殘渣的產生，容易獲得平整度高的通道。而且光束質量高（M2＜1.2），以及易聚焦的特性，聚焦后光斑直徑可達微米量級，加工時可以獲得微流控芯片通道所需的尺寸，且線寬和刻蝕深度及品質都能獲得可靠保障。