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納飛光電工業(yè)級皮秒激光器在掩膜版切割開孔的應(yīng)用

2023-03-09 16:17 作者:納飛曉峰  | 我要投稿

掩膜版在工業(yè)的應(yīng)用十分廣泛,且品類繁多,有電極掩模板、不銹鋼掩膜板、芯片掩模板、微孔掩膜板、光刻掩膜板等,在芯片生產(chǎn)廠家、IC制造商、高校實驗室、科研院所等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

在掩模板進行高質(zhì)量開孔卻不是一件容易的事,尤其是應(yīng)用端對掩膜版的精度要求越來越高的情況下,常要求在薄金屬板上或非金屬板材上生成大量的微米級細微孔洞,甚至包括配套的掩膜板刻線的最小線寬往往精度也要求達到微米量級,常規(guī)的切割開孔方式顯然已經(jīng)不適合需求。

激光加工是激光產(chǎn)業(yè)的重要應(yīng)用,利用高能量密度激光束與物質(zhì)相互作用的特性對各種金屬與非金屬材料加工,與常規(guī)的機械加工相比,具有精度高、效率高、靈活性強的特點。針對掩膜版的應(yīng)用需求,納飛光電研發(fā)設(shè)計的1064nm工業(yè)級皮秒激光器,輸出功率超過30W,小于10ps的脈寬,峰值功率高,穩(wěn)定性非常好,出色的“冷”加工特性對加工材料不挑,優(yōu)異的光束質(zhì)量(M2<1.3)也能應(yīng)對高加工精度的要求。

“冷”加工熱影響區(qū)小,加工品質(zhì)好。皮秒激光器是利用激光光子直接破壞目標(biāo)材料的結(jié)合鍵,這相對來說是一個“冷”加工的過程,對金屬或非金屬材料均適用,且?guī)缀鯖]有熱影響區(qū),加工過程干脆利落,無毛刺,切割開孔的邊緣更加平滑,也不會產(chǎn)生重鑄材料,無需后期二次處理,品質(zhì)高。

加工精度高。高的光束質(zhì)量(M2<1.3)使得激光束聚焦后光斑直徑非常小,可以達到微米量級,因此可以進行非常小的切割打孔作業(yè),或者刻蝕,滿足客戶微小加工需求。

高速快捷??闪⒓赐ㄟ^PC端快速設(shè)計并輸出圖樣,隨后即可進行高速切割開孔,能量集中,切割開孔速度快,比刀模切割、線切割、化學(xué)腐蝕等方式的速度要快很多,同時該款激光器的脈沖穩(wěn)定性和功率穩(wěn)定性都非常高,小于1%RMS,高穩(wěn)定性輸出也提升加工效率。

效果一致性高。借助高精度的視覺定位等輔助光學(xué)部件,可以做到同一批次的加工效果一致,而且還不易受加工數(shù)量的限制,可進行小批量定制加工服務(wù),無需其它的模具,靈活性非常的高。

此外,激光加工的采用非接觸式加工,不會對材料產(chǎn)生機械擠壓或機械應(yīng)力等造成損壞或變形。


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