超純水通常指的是電阻率能夠達到18MΩ·cm的水，是既將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機物均去除至很低程度的水。

　　半導(dǎo)體行業(yè)中的超純水，又名UP水，主要是半導(dǎo)體原材料生產(chǎn)加工、檢測和半導(dǎo)體器件的制備用水。電子元器件對超純水使用水質(zhì)要求高。市場環(huán)境變化使得元器件尺寸縮小與精細度上升，使得超純水水質(zhì)與水量的技術(shù)指標(biāo)不斷提升。

　　超純水制備主要包括以下三個階段，即初步吸附過濾階段、反滲透凈化階段和樹脂離子交換階段。其中，離子交換是將水中的正離子與離子交換樹脂中的H+離子交換，水中的負離子與離子交換樹脂中的OH-離子交換，從而達到純化水的目的。具體說來主要有以下步驟：

　　1.原水：可用自來水或普通蒸餾水或普通去離子水作為原水。

　　2.預(yù)處理系統(tǒng)：原水箱、原水泵、殺菌劑、石英砂過濾器、活性炭過濾器、換熱器、阻垢劑系統(tǒng)。

　　3.雙級反滲透系統(tǒng)：保安過濾器、高壓泵、反滲透系統(tǒng)。反滲透膜可濾除95%以上的電解質(zhì)和大分子化合物，包括膠體微粒和病毒等。由于絕大多數(shù)離子的去除，使離子交換柱的使用壽命大大延長。

　　4.EDI系統(tǒng)：EDI的作用就是通過除去電解質(zhì)(包括弱電解質(zhì))的過程，將水的電阻率從0.05～1.0MΩ·cm提高到5～16MΩ·cm。

　　5.拋光樹脂：無化學(xué)析出的核子級樹脂，去除純水中殘余的微量帶電離子及弱電解質(zhì)，使水質(zhì)達到18MΩ·cm以上。

　　6.終端超濾：能有效地去除水中的微粒、膠體、細菌、熱源和有機物。是整套系統(tǒng)最后的防火墻，確保產(chǎn)出的高純水不受二次污染。

　　超純水設(shè)備采用靶向離子交換系統(tǒng)針對超純水中難處理的硼及其他離子定向去除同時還能連續(xù)、穩(wěn)定地生產(chǎn)高純度的超純水。超純水設(shè)備主要應(yīng)用領(lǐng)域：晶圓、電子芯片、集成電路、精密儀器、電鍍涂裝、試劑稀釋、氟化工等領(lǐng)域多有應(yīng)用。

　　編輯：杜鵑花 技術(shù)：米

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