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MEMS作為實(shí)現(xiàn)移動(dòng)通信、機(jī)器人、物聯(lián)網(wǎng)、無(wú)人駕駛、AR/VR、5G和人工智能產(chǎn)業(yè)必備的感知層核心器件，是集成電路發(fā)展的新方向和重要載體，更是實(shí)現(xiàn)從中國(guó)“制造”到中國(guó)“智造”轉(zhuǎn)變的關(guān)鍵技術(shù)和支撐。MEMS技術(shù)的進(jìn)步，離不開(kāi)資本的支持和市場(chǎng)推動(dòng)。如何在市場(chǎng)的浪潮中，把握先機(jī)站在浪潮之巔，是所有從業(yè)者和投資者不變的理想。

對(duì)于半導(dǎo)體行業(yè)從業(yè)者：本書(shū)以全新的視角，獨(dú)特的解析，全景展現(xiàn)了MEMS行業(yè)的風(fēng)云際會(huì)，有助于從業(yè)者找到自身奮斗方向。

對(duì)于半導(dǎo)體行業(yè)投資者：本書(shū)以清晰的政策分析，前瞻性的預(yù)測(cè)，完美描繪了MEMS行業(yè)的投資未來(lái)，有助于投資者制定投資策略。

內(nèi)容簡(jiǎn)介

《一砂一世界:一書(shū)讀懂MEMS產(chǎn)業(yè)的現(xiàn)狀與未來(lái)》較為全面地介紹了MEMS技術(shù)、產(chǎn)品、產(chǎn)業(yè)及應(yīng)用，闡述了MEMS基本情況和發(fā)展趨勢(shì)。本書(shū)共6章，其中第1、2章從MEMS基礎(chǔ)知識(shí)入手，分析了其基本概念、發(fā)展歷史、分類和原理技術(shù)等，闡述了MEMS作為前沿技術(shù)的重要性和獨(dú)特性;第3、4章重點(diǎn)對(duì)MEMS應(yīng)用場(chǎng)景和全球視角下的產(chǎn)業(yè)布局進(jìn)行概括分析，充分展示了MEMS巨大應(yīng)用及產(chǎn) 業(yè)前景;第5章則研究了近年來(lái)MEMS行業(yè)的部分經(jīng)典并購(gòu)案例及整合方式，討論了其潛在并購(gòu)動(dòng)因和*終整合結(jié)果，以資借鑒;第6章從產(chǎn)業(yè)政 策和投融資角度出發(fā)，揭示了MEMS投資方向和潛在投資機(jī)遇。

作者簡(jiǎn)介

馮錦鋒 博士

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)從業(yè)者，上海集成電路行業(yè)協(xié)會(huì)兼職副秘書(shū)長(zhǎng)。工學(xué)雙學(xué)士、管理學(xué)碩士、工學(xué)博士，長(zhǎng)期從事半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)研究和項(xiàng)目管理工作，近年來(lái)曾參與多起MEMS領(lǐng)域海內(nèi)外并購(gòu)和投資業(yè)務(wù)。

馬進(jìn) 博士

美國(guó)斯坦福大學(xué)博士后。工學(xué)學(xué)士、工學(xué)碩士、工學(xué)博士。近十年來(lái)先后主持和參與多項(xiàng)、省部級(jí)集成電路相關(guān)課題研究，對(duì)MEMS行業(yè)分析和應(yīng)用研究有濃厚興趣。

精彩書(shū)評(píng)

作者深入行業(yè)第一線，內(nèi)容豐富、行筆流暢、通俗易懂，非常給力！本書(shū)不僅聚焦于MEMS技術(shù)和產(chǎn)業(yè)本身，還別出心裁地對(duì)近年來(lái)MEMS相關(guān)并購(gòu)案例進(jìn)行了饒有趣味地多角度剖析，是從事微電子學(xué)習(xí)和工作的一本不可多得的參考書(shū)。

復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)院執(zhí)行院長(zhǎng) 張衛(wèi)

選題MEMS技術(shù)和產(chǎn)業(yè)，體現(xiàn)了對(duì)集成電路產(chǎn)業(yè)的敏銳感知。作者有個(gè)微信公眾號(hào)“馮言鋒語(yǔ)”，2017年1月曾解讀《Ensuring Long-Term US Leadership in Semiconductors》，給我留下深刻印象。時(shí)隔兩年有余，他的獨(dú)到見(jiàn)解證明了其對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的睿智判斷。

上海集成電路研發(fā)中心有限公司董事長(zhǎng) 趙宇航

這份書(shū)稿，是我在國(guó)內(nèi)看到MEMS方向比較接地氣的專業(yè)書(shū)籍，觀點(diǎn)鮮明、對(duì)產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀的認(rèn)識(shí)清晰而清醒，語(yǔ)言生動(dòng)，娓娓道來(lái)，值得推薦給廣大芯片從業(yè)者。

上海矽?？萍加邢薰究偛?孫臻

這本產(chǎn)業(yè)書(shū)籍，不落俗套，角度新穎，書(shū)里不乏犀利和獨(dú)特的觀點(diǎn)，都很難從傳統(tǒng)的教科書(shū)以及平時(shí)的報(bào)告找得到，我很欣賞。

上海微技術(shù)工業(yè)研究院（SITRI）總經(jīng)理 丁輝文

目錄

目錄

序

前言

第1章 走在產(chǎn)業(yè)前沿的時(shí)代驕子 1

1.1 MEMS的前世今生 2

1.1.1 MEMS是什么 2

1.1.2 MEMS的四個(gè)階段 5

1.2 小小的MEMS有大大的玄機(jī) 7

第2章 揭開(kāi)MEMS的神秘面紗 44

2.1 傳感MEMS技術(shù) 45

2.2 生物MEMS技術(shù) 65

2.2.1 相關(guān)分類 67

2.2.2 發(fā)展及現(xiàn)狀 68

2.2.3 熱點(diǎn)與挑戰(zhàn) 71

2.3 光學(xué)MEMS技術(shù) 76

2.3.1 相關(guān)分類 78

2.3.2 發(fā)展及現(xiàn)狀 84

2.3.3 熱點(diǎn)與挑戰(zhàn) 86

2.4 射頻MEMS技術(shù) 88

2.4.1 相關(guān)分類 90

2.4.2 發(fā)展及現(xiàn)狀 95

2.4.3 熱點(diǎn)與挑戰(zhàn) 96

第3章 悄然改變生活的MEMS 97

3.1 全球個(gè)人娛樂(lè)產(chǎn)業(yè)的支撐 98

3.1.1 手機(jī) 98

3.1.2 可穿戴設(shè)備 103

3.1.3 游戲機(jī) 107

3.2 汽車巨頭雄霸市場(chǎng)的撒手锏 108

3.3 工業(yè)4.0背后的隱形功臣 121

3.3.1 工業(yè)機(jī)器人 121

3.3.2 智能機(jī)器人 125

3.3.3 智慧工廠 127

3.4 智慧醫(yī)療不眠的守護(hù)神 130

3.5 國(guó)家之間航空航天角力的硬科技 134

3.6 其他 135

3.6.1 仿生傳感器 135

3.6.2 智能家居 136

第4章 全球視角下的MEMS產(chǎn)業(yè)布局 140

4.1 全球MEMS產(chǎn)業(yè)分布詳解 141

4.1.1 美國(guó) 141

4.1.2 日本 143

4.1.3 歐洲 145

4.2 知名MEMS企業(yè)概覽 147

4.3 我國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)分布 159

第5章 MEMS企業(yè)并購(gòu)整合的酸甜苦辣 161

5.1 所謂酸者，雖入口卻意味深長(zhǎng) 162

軟銀:豪賭物聯(lián)網(wǎng)春天的巨人 162

5.2 所謂甜者，嘗到甜頭一發(fā)不可收 171

5.2.1 TDK，擁抱新的智能世界 171

5.2.2 奧地利AMS的買(mǎi)買(mǎi)買(mǎi) 179

5.3 所謂苦者，未嘗所愿也 184

高通，擬并購(gòu)進(jìn)入汽車半導(dǎo)體市場(chǎng)的巨人 184

5.4 所謂澀者，一波三折 189

美新半導(dǎo)體，本土加速度傳感器的王者 189

第6章 逐漸清晰的MEMS投資方向 193

6.1 政策引導(dǎo)下的投資方向 194

6.1.1 政策在說(shuō)什么 194

6.1.2 政府想要什么 197

6.2 不同投資人眼中的MEMS投資機(jī)會(huì) 200

6.2.1 政府投資平臺(tái) 201

6.2.2 科技公司投資平臺(tái) 203

6.2.3 市場(chǎng)化投資基金 203

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前言/序言

前言

MEMS作為實(shí)現(xiàn)移動(dòng)通信、機(jī)器人、物聯(lián)網(wǎng)、無(wú)人駕駛、AR/VR、5G和人工智能產(chǎn)業(yè)必備的感知層核心器件，是集成電路發(fā)展的新方向和重要載體，更是實(shí)現(xiàn)從中國(guó)“制造”到中國(guó)“智造”轉(zhuǎn)變的關(guān)鍵技術(shù)和支撐。隨著物聯(lián)網(wǎng)的興起，MEMS已成為國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)戰(zhàn)略的重要標(biāo)志性產(chǎn)業(yè)，其技術(shù)水平和發(fā)展規(guī)模更是衡量一個(gè)國(guó)家和地區(qū)產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力和綜合國(guó)力的重要標(biāo)志。

筆者從2009年開(kāi)始接觸MEMS相關(guān)技術(shù)和企業(yè)，深感MEMS作為特色工藝芯片，麻雀雖小五臟俱全，無(wú)論是產(chǎn)品復(fù)雜度，還是技術(shù)難度，抑或產(chǎn)品的極高可靠性，都不輸于那些追求10nm、7nm乃至2nm的先進(jìn)邏輯芯片?？v觀這么多年MEMS的發(fā)展，我們清醒地意識(shí)到，我國(guó)在MEMS領(lǐng)域與國(guó)際水平相比仍有很大差距。這個(gè)差距從兩個(gè)角度可以看得出:一是種類和規(guī)模。MEMS種類繁多，每一個(gè)MEMS細(xì)分領(lǐng)域產(chǎn)品，大體上都需要獨(dú)特的加工工藝，進(jìn)而需要獨(dú)特的生產(chǎn)設(shè)備，這讓MEMS芯片產(chǎn)品設(shè)計(jì)、加工制造都形成了極高的門(mén)檻。這也是我國(guó)眾多MEMS企業(yè)發(fā)展至今，卻一直未誕生MEMS綜合門(mén)類齊全的大公司的客觀原因。反觀恩智浦、英飛凌、德州儀器這些大廠，要么依靠數(shù)十年的沉淀，要么依靠連續(xù)不斷的并購(gòu)，才有了今天動(dòng)輒成百上千種MEMS產(chǎn)品的龐大規(guī)模。二是具體的 MEMS產(chǎn)品，一個(gè)非常典型的案例就是6軸慣性傳感器，具有極其廣泛的用途，近5年來(lái)國(guó)內(nèi)不少?gòu)S家宣布研制成功給人以驚喜，但仍然離產(chǎn)業(yè)化推廣尚有距離。