蔡司雙束電鏡Crossbeam系列結(jié)合了高分辨率場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡（FE-SEM）的出色成像和分析性能，以及新一代聚焦離子束（FIB）的優(yōu)異加工能力。

它的背后運(yùn)用了什么技術(shù)？

一、掃描電鏡電子光學(xué)器件

兩種鏡筒可供選擇

和所有的蔡司場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡一樣，蔡司雙束電鏡Crossbeam系列的場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡鏡筒基于Gemini電子光學(xué)系統(tǒng)。目前兩款鏡筒：配置Crossbeam 350的Gemini I VP鏡筒和配置Crossbeam 550的Gemini II鏡筒可供您選擇。

場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡專為高分辨率成像而設(shè)計(jì)，其性能取決于它的電子光學(xué)鏡筒。Gemini技術(shù)支持所有的蔡司場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡和雙束電鏡：特別為各種樣品，尤其是低電壓下提供高分辨和高效且操作簡(jiǎn)單的探測(cè)。

◆Gemini物鏡是靜電透鏡和電磁透鏡復(fù)合的電子光學(xué)結(jié)構(gòu)，可大大提升鏡筒的使用效果，面對(duì)富有挑戰(zhàn)性的磁性樣品同樣有出色的成像效果。

◆Gemini鏡筒配置的電子束加減速技術(shù)，可保證電子束斑尺寸和高信噪比。

◆Gemini鏡筒內(nèi)設(shè)置的探測(cè)器，可確保信號(hào)的高效收集，可同時(shí)收集二次電子（SE）和背散射電子（BSE）信號(hào)。

從您的雙束電鏡應(yīng)用獲益

◆掃描電鏡電子束對(duì)準(zhǔn)可長(zhǎng)期保持穩(wěn)定，改變探針電流和加速電壓對(duì)系統(tǒng)幾乎沒(méi)有影響。

◆無(wú)磁場(chǎng)泄露的光學(xué)系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)大視野無(wú)畸變高分辨成像。

樣品傾斜轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)不影響電子光學(xué)系統(tǒng)的表現(xiàn)。

二、Gemini新型光學(xué)系統(tǒng)

得益于高度靈敏的表面成像分析

在低著陸能量下獲取高分辨圖像已經(jīng)成為SEM應(yīng)用的標(biāo)準(zhǔn)。

本質(zhì)上因?yàn)椋?/p>

◆光束敏感樣品

◆非導(dǎo)電材料

◆獲得真實(shí)樣品表面信息，而不受樣品更深層背景信號(hào)的干擾

Gemini獨(dú)特的電子光學(xué)結(jié)構(gòu)優(yōu)化低電壓和超低電壓的分辨率并且增強(qiáng)了襯度，其技術(shù)特點(diǎn)為使用高分辨率電子槍模式和可選的樣品臺(tái)減速技術(shù)（Tandem decel）。

◆高分辨率電子槍模式通過(guò)將電子束最初能量色散降低30%，令電子束色差盡可能降低。

樣品臺(tái)減速技術(shù)現(xiàn)配置給蔡司Crossbeam350/550，可以在兩種不同的模式下使用：

◆樣品臺(tái)減速技術(shù)（Tandem decel）采用兩步式電子束減速模式，它結(jié)合了電子束推進(jìn)器技術(shù)和對(duì)樣品施加的高負(fù)偏壓，使入射束的電子減速，進(jìn)而有效降低著陸電壓

◆施加50V到100V之間的可變負(fù)偏壓，一種應(yīng)用模式可增強(qiáng)您圖像的對(duì)比度

◆施加1kV到5kV之間的負(fù)偏壓，提高您圖像的低加速電壓分辨率

三、雙束電鏡技術(shù)

發(fā)現(xiàn)一種新的聚焦離子束（FIB）處理方式

鎵離子FIB鏡筒Ion-sculptor 可在不影響加工精度的情況下加快您的FIB工作進(jìn)程，并讓您受益于其對(duì)任何樣品的低電壓性能。

蔡司Crossbeam產(chǎn)品系列配有新一代的鎵離子FIB鏡筒——Ion-sculptor，具有可實(shí)現(xiàn)高通量的高電流以及用于高樣品質(zhì)量的出色低電壓性能。

◆充分利用鎵離子FIB鏡筒Ion-sculptor在低電壓下的出色性能來(lái)提升樣品質(zhì)量

◆盡可能減少您樣品的非晶化并使您在減薄后獲得出色結(jié)果

◆產(chǎn)品具備全面穩(wěn)定性，確保您獲得精準(zhǔn)且可重復(fù)的結(jié)果

◆通過(guò)快速探頭電流交換加速您的FIB應(yīng)用

◆借助高達(dá)100 nA的電子束流可進(jìn)行高通量實(shí)驗(yàn)

◆實(shí)現(xiàn)小于3 nm的出色的FIB分辨率

◆Crossbeam產(chǎn)品系列配有用于長(zhǎng)期實(shí)驗(yàn)的自動(dòng)FIB發(fā)射恢復(fù)功能