在做掃描電子顯微鏡（SEM）測試時，科學指南針檢測平臺工作人員在與很多同學溝通中了解到，好多同學對sem測試不太了解，針對此，科學指南針檢測平臺團隊組織相關(guān)同事對網(wǎng)上海量知識進行整理，希望可以幫助到科研圈的伙伴們；

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xps結(jié)果與EDS結(jié)果不符？

@指南針上海黃老師

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每個被“科研”支配的畢業(yè)狗

大部分都有這樣一個苦逼過程

那就是在實驗室

日夜辛苦搗鼓

幾天幾個星期甚至幾個月······

好不容易有了自己的第一個“孩子”（樣品）

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那么接下來肯定就是

各種裝備（各類測試）配齊

證明她確實是按照

我給他規(guī)劃的人生路線

茁壯成長（預期效果）

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然鵝

有時候

現(xiàn)實總是那么讓人上頭

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這不就有人來聯(lián)系我們

為什么我的樣品

明明XPS測出結(jié)果里有N元素

但是EDS里測出來N元素含量為0

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首先

我們的N元素

因為原子序數(shù)比較低

特征X射線波長較短

信號從樣品里面逸出時易被吸收

而且能譜還有檢測限

如果元素含量很低

EDS也是可能檢測不出來的哦

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其次

EDS掃描范圍

也沒有準確值

影響因素很多

加速電壓越高

樣品密度越小

影響區(qū)越大

一般來說是在幾十納米到接近微米級

而實際測試時

也是根據(jù)大家提供的位置

選擇兩到三個點

最后結(jié)果只能是一個定性判斷

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如果大家是想得到

更為精確的元素含量

我們測試老師還是

建議大家選擇XPS來表征哈

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最后的最后

如果大家選擇EDS

樣品需要滿足以下幾點條件

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A.在真空和電子束轟擊下穩(wěn)定不會分解

B.分析面平坦一般要求與電子束垂直

C.有良好的導電和電熱性能無荷電現(xiàn)象

D.樣品為均質(zhì)材料無污染

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因此大家制備樣品時也需多加注意哦！

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