關(guān)于溴化鉻晶體,拓?fù)浣^緣體Bi2Se3 硒化鉍晶體的CVD方法生長過程
關(guān)于溴化鉻晶體,拓?fù)浣^緣體Bi2Se3 硒化鉍晶體的CVD方法生長過程
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化學(xué)氣相沉積法(CVD):
化學(xué)氣相沉積法是指利用高溫物理蒸發(fā)或反應(yīng)物質(zhì)在氣態(tài)條件下發(fā)生化學(xué)反應(yīng),然后通過氣體傳輸過程使生成物質(zhì)沉積在加熱的基底表面,進(jìn)而制得材料的工藝技術(shù)。

圖2-1是利用CVD方法在基底上生長 Bi2Se3的實(shí)驗(yàn)裝置示意圖。打開爐蓋,將長120cm、外徑6cm的石英管至于爐內(nèi),其主要的實(shí)驗(yàn)步驟如下:
(1)先把蒸發(fā)源粉末放在石英舟的前端,襯底放在距離蒸發(fā)源適當(dāng)?shù)奈恢茫缓髮⑹⒅弁迫胧⒐?,使蒸發(fā)源正好處于中心加熱區(qū),最后密封好管口,關(guān)閉爐蓋;
(2)打開機(jī)械泵抽真空,待真空度達(dá)到10Pa左右時(shí),通入10分鐘載運(yùn)氣體以排出石英管內(nèi)殘余空氣,載運(yùn)氣體在整個(gè)實(shí)驗(yàn)過程中一直通入;
(3)打開試管爐開始加熱,待溫度達(dá)到設(shè)定的生長溫度時(shí),控制生長時(shí)間;
(4)關(guān)閉試管爐加熱開關(guān),自然冷卻至室溫,后關(guān)閉氣體,將樣品取出。
Bi2Se3擁有與MoS和石墨烯等層狀材料相似的層狀結(jié)構(gòu),層間隙遠(yuǎn)大于鋰離子直徑(0.152 nm),因此具有良好的鋰離子存儲(chǔ)性能。自組裝Bi2Se3球狀結(jié)構(gòu)具有很高的孔隙率,孔洞間隙可以存儲(chǔ)大量鋰離子,進(jìn)一步提高了鋰離子的存儲(chǔ)效率。與很多合金類材料相似,Bi2Se3作為鋰離子電池負(fù)極材料,經(jīng)過數(shù)次充放電循環(huán)后易出現(xiàn)結(jié)構(gòu)膨脹,坍塌,減少鋰離子存儲(chǔ)空間。
Coumarin標(biāo)記牛血清白蛋白
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