電子無塵車間是一種根據(jù)不同潔凈度要求，對室內(nèi)空氣經(jīng)過過濾和凈化處理，室內(nèi)凈化度達(dá)到設(shè)定值，使室內(nèi)的粉塵、氣體、溫度、濕度和電磁場保持在一定范圍內(nèi)，以滿足要求的無塵車間。電子無塵室主要用于集成電路，半導(dǎo)體等射頻電子制品的加工、裝配、檢測。