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電容傳感器的靈敏度為
它說明了單位輸入位移所引起輸出電容相對變化的大小與d0呈反比關(guān)系.
如果考慮式(5 - 14)中的線性項與二次項, 則
由此可得出傳感器的相對非線性誤差δ為
由式(5 - 16)與式(5 - 18)可以看出: 要提高靈敏度, 應減小起始間隙d0, 但非線性誤差卻隨著d0的減小而增大.
在實際應用中, 為了提高靈敏度, 減小非線性誤差, 大都采用差動式結(jié)構(gòu).圖5 - 8 是變極距型差動平板式電容傳感器結(jié)構(gòu)示意圖. 
在差動式平板電容器中, 當動極板位移Δd時, 電容器C1的間隙d1變?yōu)閐0-Δd, 電容器C2的間隙d2變?yōu)閐0+Δd, 則
C1=C0?