真空泵主要參數(shù)為抽氣速率與真空度，但了解這些公式將有助于客戶朋友更準確地選到自己理想中的真空泵。?

1、玻義爾定律

體積V，壓強P，P·V＝常數(shù)

一定質(zhì)量的氣體，當溫度不變時，氣體的壓強與氣體的體積成反比。

即P1/P2＝V2/V1

2、蓋·呂薩克定律

當壓強P不變時，一定質(zhì)量的氣體，其體積V與絕對溫度T成正比：

V1/V2＝T1/T2＝常數(shù)

當壓強不變時，一定質(zhì)量的氣體，溫度每升高(或P降低)1℃，則它的體積比原來增加(或縮小)1/273。

3、查理定律

當氣體的體積V保持不變，一定質(zhì)量的氣體，壓強P與其絕對溫度T成正比，即：

P1/P2＝T1/T2

在一定的體積下，一定質(zhì)量的氣體，溫度每升高(或降低)1℃，它的壓強比原來增加(或減少)1/273。

4、平均自由程：

λ＝(5×10-3)/P (cm)

5、抽速：

S＝dv/dt (升/秒)或?S＝Q/P

Q＝流量(托·升/秒) P＝壓強(托)V＝體積(升) t＝時間(秒)

6、通導：C＝Q/(P2-P1) (升/秒)

7、真空抽氣時間：

對于從大氣壓到1托抽氣時間計算式：

t＝8V/S (經(jīng)驗公式)

V為體積，S為抽氣速率，通常t在5~10分鐘內(nèi)選擇。?

8、維持泵選擇：

S維＝S前/10

9、擴散泵抽速估算：

S＝3D2 (D＝直徑cm）

10、羅茨泵的前級抽速：

S＝(0.1~0.2)S羅?(l/s)

11、漏率：

Q漏＝V(P2-P1)/(t2-t1)

Q漏－系統(tǒng)漏率(mmHg·l/s)

V－系統(tǒng)容積(l)

P1－真空泵停止時系統(tǒng)中壓強(mmHg)

P2－真空室經(jīng)過時間t后達到的壓強(mmHg)

t－壓強從P1升到P2經(jīng)過的時間(s)

12、粗抽泵的抽速選擇：

S＝Q1/P預?(l/s)

S=2.3V·lg(Pa/P預)/t

S－機械泵有效抽速

Q1－真空系統(tǒng)漏氣率(托·升/秒)

P預－需要達到的預真空度(托)

V－真空系統(tǒng)容積(升)

t－達到P預時所需要的時間

Pa－大氣壓值(托）

13、前級泵抽速選擇：

排氣口壓力低于一個大氣壓的傳輸泵如擴散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等，它們工作時需要前級泵來維持其前級壓力低于臨界值，選用的前級泵必須能將主泵的最大氣體量排走，根據(jù)管路中，各截面流量恒等的原則有：

PnSg≥PgS 或

Sg≥Pgs/Pn

Sg－前級泵的有效抽速(l/s)

Pn－主泵臨界前級壓強(最大排氣壓強)(l/s)

Pg－真空室最高工作壓強(托)

S－主泵工作時在Pg時的有效抽速。(l/s)

14、擴散泵抽速計算公式：

S＝Q/P＝(K·n)/(P·t)(升/秒)

式中：S－被試泵的抽氣速率(l/s)

n－滴管內(nèi)油柱上升格數(shù)(格)

t－油柱上升n格所需要的時間(秒)

P－在泵口附近測得的壓強(托)

K－滴管系數(shù)(托·升/秒)

K＝V0·(L/n)·(Υ0/Υm)+Pa△Vt

其中V0－滴管和真空膠管的原始容積(升)

L－滴管刻度部分的長度(mm)

n－滴管刻度部分的格數(shù)(格)

Υ0－油的比重(克/厘米3)

Υm－汞的比重(克/厘米3)

Pa－當?shù)卮髿鈮簭?托)

△Vt－滴管的刻度上的一格的對應的容積(升/格)

15、旋片真空泵的幾何抽速計算公式：

?S＝πZnLKv(D2-d2)/(24×104) (l/s)

式中：Z為旋片數(shù)，n為轉(zhuǎn)速(轉(zhuǎn)/分)，L為泵腔長度，D為泵腔直徑，d為轉(zhuǎn)子直徑(cm)，Kv為容積利用系數(shù)(一般取95％)。

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