加工快,納飛光電工業(yè)級皮秒激光器在切割I(lǐng)TO導(dǎo)電玻璃的應(yīng)用
導(dǎo)電玻璃有多種類型,其中ITO導(dǎo)電玻璃使用較多,它是以鈉鈣基或硅硼基為玻璃加工原片,采用射、蒸發(fā)等多種方法在玻璃表面鍍上一層ITO(氧化銦錫)膜制作而成,厚度只有幾千埃。由于氧化銦錫具有導(dǎo)電作用,因此只要給玻璃一個(gè)電源,整塊玻璃便可通電,且氧化銦透過率高,具有高達(dá)90%的透光率,在等離子顯示、硅太陽電池、調(diào)諧指示管等器件中作為玻璃電極使用,使用范圍非常廣泛。
ITO導(dǎo)電玻璃的生產(chǎn)和使用,需要高精度、高效率、高品質(zhì)的切割。誠然,如今的刀輪切割和CNC研磨切割工藝成熟、穩(wěn)定可靠,精度也大為提高,但還或多或少存在一定缺陷:一是切割過程產(chǎn)生碎屑、碎塊和微裂痕,需要再進(jìn)行一道CNC精磨;二是刀具易磨損,需不定時(shí)更換,增加耗材成本;三是傳統(tǒng)切割工藝主攻直線切割,對于異形(倒角、R角)切割比較困難。

采用皮秒激光器切割I(lǐng)TO導(dǎo)電玻璃是一種易于控制的非接觸式的無耗材解決方案。納飛光電研發(fā)設(shè)計(jì)的1064nm工業(yè)級皮秒激光器,輸出功率超過30W,脈寬<10ps,利用低熱能擴(kuò)散的特點(diǎn),在熱傳導(dǎo)到周邊材料前完成材料打斷,在ITO導(dǎo)電玻璃切割中表現(xiàn)出良好的效果,因此10ps的激光器切割過程也可以稱為“冷加工”。極窄的脈寬可以獲得非常高的峰值功率,超過300uj的單脈沖能量,調(diào)整到匹配的切割參數(shù)后,在高速切割下能保證邊緣整齊、垂直性佳和內(nèi)損傷低的優(yōu)勢,不產(chǎn)生微裂紋、破碎或碎片問題,從而降低了制造成本。

它的脈沖穩(wěn)定性(PPS)<1%RMS,功率穩(wěn)定性<1%RMS,這樣的高可靠性可保證持續(xù)、均勻的切割厚度和邊緣質(zhì)量。同時(shí),優(yōu)異的光束質(zhì)量(M2<1.3),聚焦后的光斑直徑在微米級別,這樣的優(yōu)勢有二:一是可以進(jìn)行高精度的切割,通過準(zhǔn)確的定位即可進(jìn)行非常切割,材料利用率高,不會造成材料損耗等,同時(shí)也意味著可以進(jìn)行更加微小尺寸的切割,這是傳統(tǒng)刀具切割所無法匹及的。

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