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SEM測(cè)試常見(jiàn)問(wèn)題

2022-04-08 13:57 作者:bili_74204057874  | 我要投稿

電鏡圖像的標(biāo)尺與放大倍數(shù)的關(guān)系

電鏡圖像的標(biāo)尺通常都可以設(shè)定為固定的或可變的。前者是標(biāo)尺的長(zhǎng)度不變,但代表的長(zhǎng)度隨放大倍率變化;后者是標(biāo)尺長(zhǎng)度適應(yīng)不同階段放大倍率可變,但代表的長(zhǎng)度在一定的放大倍率范圍內(nèi)固定不變。

因此同樣的放大倍率可以有不同的標(biāo)尺,但在同一輸出媒介上的實(shí)際尺寸不變。改變輸出方式時(shí),放大倍率已改變(當(dāng)然顯示的放大倍率不會(huì)變化),測(cè)量的尺寸當(dāng)然也就改變了。

因此,標(biāo)尺數(shù)值大小跟放大倍數(shù)沒(méi)有必然關(guān)系,具體數(shù)值大小和不同的廠商設(shè)置有關(guān)。

圖像差與導(dǎo)電性

自由電子的累積會(huì)在樣品的局部形成靜電場(chǎng),影響正常電子信息的溢出,產(chǎn)生荷電效應(yīng),從而導(dǎo)致圖像局部異常明亮,局部異常暗;表面磨平;圖像畸形;圖像漂移現(xiàn)象;而樣品的導(dǎo)電性差是產(chǎn)生這種現(xiàn)象的主要原因。

一般通過(guò)噴金(碳),導(dǎo)電染色等方法增強(qiáng)樣品導(dǎo)電性,降低加速電壓或者在產(chǎn)生荷電效應(yīng)前快速觀察。

電子束損傷

部分樣品不耐電子束,在拍攝時(shí)會(huì)造成拍攝部位破裂和局部漂移;為避免這種現(xiàn)象的產(chǎn)生,降低加速電壓及較小電子束流,加厚噴鍍金屬膜,在拍攝時(shí)快速選定要拍攝的部位,較短時(shí)間內(nèi)聚焦拍攝。

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